[实用新型]火焰水解蒸镀装置

权利要求书

1.一种火焰水解蒸镀装置，作为通过吹管产生火焰并加水分解反应气体从而生成生成物蒸镀在晶片上的火焰水解蒸镀装置，其特征在于，

所述吹管通过多个被分开的分歧管而被供应所述反应气体及用于生成所述火焰的燃烧气体，

吹管下端的外侧与拆卸式的保护管结合而能够选择性地仅更换所述保护管。

2.根据权利要求1所述的火焰水解蒸镀装置，其特征在于，

所述吹管包括：

多个喷射管，各自的上部侧相互连接，剖面为同心圆，下端是开放的；及

多个分歧管，选择性地配置于所述多个喷射管，分别将所述反应气体及所述燃烧气体供应到所述喷射管。

3.根据权利要求1或2所述的火焰水解蒸镀装置，其特征在于，

在所述吹管的下端外侧配置飞散防止部，

所述飞散防止部的一部分连接到排气管而排出所述飞散防止部内的空气。

4.根据权利要求3所述的火焰水解蒸镀装置，其特征在于，

所述飞散防止部，包括：

飞散防止引导部，上端配置用于插入所述吹管的下端部的插入口，下部是开放的；及

管道部，从所述飞散防止引导部的上部一部分向上延长，其末端连接到所述排气管。

5.根据权利要求1所述的火焰水解蒸镀装置，其特征在于，还包括：

载入器，使所述吹管进行水平往复运动；及

转盘，在上面具备收容所述晶片的多个袋，根据马达旋转。

6.根据权利要求1所述的火焰水解蒸镀装置，其特征在于，还包括：

水平移动部，在上面配置收容所述晶片的多个袋，在所述吹管的下方，相对于所述吹管而向水平方向进行相对运动。

7.一种火焰水解蒸镀装置，其特征在于，包括：

传动装置(112)，通过电源的供应而驱动；

驱动轴(114)，可联动地连接到所述传动装置(112)；

转台(116)，固定结合到所述驱动轴(114)的上端，其上面形成向圆周方向安置晶片(124)的晶片槽(122)，在该晶片(124)的下部，以紧贴的状态设置加热器(128)；

机器人(152)，设有为了形成二氧化硅波导厚膜而向所述转台(116)的晶片(124)发射反应物的吹管(170)及用于排除所述吹管170发射反应物时产生的不纯物的排气线夹具(172)，与转台(116)平行地进行水平往复运动；

升下降工具(130)，使由所述吹管(170)发射反应物而形成二氧化硅波导厚膜的晶片(124)自动地升下降；

电源供应工具，向设置于所述转台(116)的下部的加热器(128)供应电源；及

排气风门(178)，用于调整通过所述排气线夹具(172)排出的排气量。

8.根据权利要求7所述的一种火焰水解蒸镀装置，其特征在于，

所述升下降工具(130)，包括：

杠杆(132)，其一端紧贴晶片(124)底部；

杆(134)，与杠杆(132)的另一端固定、结合；

凸轮(136)，根据电气性信号而旋转而使所述杆(134)升下降。

9.根据权利要求7所述的一种火焰水解蒸镀装置，其特征在于，

所述排气风门(178)，通过聚四氟乙烯挠性软管(180)连接到排气线夹具(172)，其前端侧设有压力传感器(182)，包括马达(184)，马达(184)根据由所述压力传感器(182)施加的信号而调整阀(186)的旋转量，从而调整排气量。

10.根据权利要求7所述的一种火焰水解蒸镀装置，其特征在于，

从所述转台(116)的晶片槽(122)到驱动轴(114)的下端部为止，形成了真空通道(126)。

11.根据权利要求7所述的一种火焰水解蒸镀装置，其特征在于，

所述机器人(152)被设置到腔室壳(150)侧面。

12.根据权利要求7或11所述的一种火焰水解蒸镀装置，其特征在于，

所述机器人(152)通过支架(156，158，160)而直接粘贴到基底板(162)，能够在与转台(116)的上面平行的线上进行往复运动。