[实用新型]防尘同步带轮及防尘同步传输装置有效
申请号: | 201520570795.X | 申请日: | 2015-07-31 |
公开(公告)号: | CN204809200U | 公开(公告)日: | 2015-11-25 |
发明(设计)人: | 王宝友;李素华;王鹏;刘祥超;崔永鑫 | 申请(专利权)人: | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司;昆山国显光电有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677;F16H7/02 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 余毅勤 |
地址: | 215300 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 防尘 同步带 同步 传输 装置 | ||
1.一种防尘同步带轮,其特征在于,包括:轮体和旋转轴,所述旋转轴位于轮体轴心处,所述旋转轴具有真空管路,所述轮体具有多个轮齿和真空孔,所述真空孔与所述真空管路相连通。
2.如权利要求1所述的防尘同步带轮,其特征在于,所述真空孔形成在两个相邻轮齿的间隙中。
3.如权利要求1所述的防尘同步带轮,其特征在于,所述防尘同步带轮的材质为不锈钢、铝及铝合金。
4.一种防尘同步传输装置,其特征在于,包括:传输部分、真空连接部分及如权利要求1所述的防尘同步带轮,其中,所述防尘同步带轮的真空管路通过所述真空连接部分连通真空,所述防尘同步带轮的轮体和旋转轴均与所述传输部分相连。
5.如权利要求4所述的防尘同步传输装置,其特征在于,所述真空连接部分包括真空连接杆和真空接入孔,所述真空连接杆一端连接所述防尘同步带轮的真空管路,另一端通过所述真空接入孔连通真空。
6.如权利要求5所述的防尘同步传输装置,其特征在于,所述真空接入孔连接一真空泵。
7.如权利要求4所述的防尘同步传输装置,其特征在于,所述传输部分包括固定部分和旋转部分,所述真空连接部分和旋转部分均位于所述固定部分内,所述旋转部分与所述防尘同步带轮的轮体和旋转轴均相连。
8.如权利要求4所述的防尘同步传输装置,其特征在于,所述防尘同步带轮的材质为不锈钢、铝及铝合金。
9.如权利要求4所述的防尘同步传输装置,其特征在于,所述传输部分的材质为不锈钢、铝及铝合金。
10.如权利要求4所述的防尘同步传输装置,其特征在于,所述真空连接部分的材质为不锈钢、铝及铝合金。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造