[实用新型]一种承载盘及刻蚀设备

权利要求书

1.一种承载盘，用于承载被加工工件，其包括可拆解的底盘和设置于所述底盘上的盖板，所述底盘的上表面设置有若干个凸台，所述凸台上置有密封件，所述被加工工件置于所述密封件上，所述盖板上设置有对应且贯穿所述凸台的若干个通孔，其特征在于：在所述凸台外周设置有压环，所述压环上分布有连为一体的若干个压爪，所述盖板置于所述压环上，所述压爪嵌入所述盖板内，以固定所述被加工工件；所述盖板和底盘通过卡槽固定。

2.根据权利要求1所述的一种承载盘，其特征在于：所述凸台为环形凸台或中心区域为镂空状凸台。

3.根据权利要求1所述的一种承载盘，其特征在于：所述压爪具有垂直部分和水平部分，其中所述垂直部分与所述压环垂直，所述水平部分与所述压环平行。

4.根据权利要求3所述的一种承载盘，其特征在于：所述压爪水平部分呈楔形，单个所述压环上均匀分布有至少3个所述压爪。

5.根据权利要求3所述的一种承载盘，其特征在于：所述压爪水平部分的下表面与密封件上表面的间距等于所述被加工工件的厚度。

6.根据权利要求1所述的一种承载盘，其特征在于：所述通孔边缘具有与所述压爪数量和位置对应的缺口，所述压爪插入所述缺口内，以实现其嵌入所述盖板内。

7.根据权利要求1所述的一种承载盘，其特征在于：所述凸台和密封件外径均与所述被加工工件外径相同，所述通孔内径与所述压环内径相同。

8.根据权利要求1所述的一种承载盘，其特征在于：所述卡槽呈均匀分布，数目至少为3个。

9.根据权利要求1所述的一种承载盘，其特征在于：所述压环为金属压环、合金压环、陶瓷压环、石英压环、碳化硅压环。

10.一种刻蚀设备，其特征在于：包含权利要求1~9所述的任意一种承载盘。