[实用新型]基板旋转装置的接触支撑体

权利要求书

1.一种基板旋转装置的接触支撑体，用于使圆盘形状的基板水平旋转，其特征在于，包括：

内侧支撑体，配置在向垂直方向延伸并旋转驱动的旋转轴的上侧，并在中央部形成有用于使紧固螺丝贯通的贯通孔，从而借助紧固螺丝与上述旋转轴结合成一体，上述内侧支撑体由塑料和树脂中的任意一种材料形成；以及

外侧支撑体，以包围上述内侧支撑体的圆周外围的方式形成，并由硬度低于上述内侧支撑体的可挠性材质形成，在上述外侧支撑体的圆周面上形成有用于收容上述基板的边缘的凹槽，在上述凹槽的下侧形成有向下斜面。

2.根据权利要求1所述的基板旋转装置的接触支撑体，其特征在于，

在上述外侧支撑体和上述内侧支撑体相接触的面中位于上述凹槽的内侧的部分，在上述外侧支撑体和上述内侧支撑体中的任意一个以上形成有凹入部，使得在上述内侧支撑体和上述外侧支撑体之间具有空间部。

3.根据权利要求2所述的基板旋转装置的接触支撑体，其特征在于，

上述凹入部形成于上述内侧支撑体的外周面。

4.根据权利要求2所述的基板旋转装置的接触支撑体，其特征在于，

上述空间部为环状。

5.根据权利要求2所述的基板旋转装置的接触支撑体，其特征在于，

在上述外侧支撑体的底面形成有四角形的四角凹入槽，上述内侧支撑体具有插入于上述四角凹入槽的四角剖面部。

6.根据权利要求2至5中任一项所述的基板旋转装置的接触支撑体，其特征在于，

上述内侧支撑体和上述外侧支撑体以利用粘结剂相粘结的状态相结合，上述空间部收容上述粘结剂。

7.根据权利要求1至5中任一项所述的基板旋转装置的接触支撑体，其特征在于，

上述内侧支撑体由聚醚醚酮、聚甲醛、聚酰胺、聚氯乙烯、聚丙烯、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯树脂、聚偏氟乙烯或不饱和聚酯中的任意一种材质形成。

8.根据权利要求1至5中任一项所述的基板旋转装置的接触支撑体，其特征在于，

上述外侧支撑体由天然橡胶、丁腈橡胶、氟橡胶、聚丁二烯橡胶或聚氨酯系列的材料中的任意一种材质形成。

9.根据权利要求1至5中任一项所述的基板旋转装置的接触支撑体，其特征在于，

上述外侧支撑体具有硬度为80至100的邵氏硬度。

10.根据权利要求1至5中任一项所述的基板旋转装置的接触支撑体，其特征在于，

上述外侧支撑体的厚度为上述内侧支撑体的厚度的0.7倍至1.3倍。

11.一种基板旋转装置的支架，其特征在于，包括：

旋转轴，向垂直方向延伸并旋转；以及

权利要求1至5中任一项所述的接触支撑体，利用连接螺栓紧固于上述旋转轴的上端部，

借助上述凹槽来支撑上述基板的边缘，并使上述基板旋转。

12.一种基板旋转装置的接触支撑体，用于使圆盘形状的基板水平旋转，其特征在于，包括：

内侧支撑体，配置在旋转轴的上侧，并借助紧固螺丝与上述旋转轴结合成一体；以及

外侧支撑体，以包围上述内侧支撑体的圆周外围的方式形成，并由硬度低于上述内侧支撑体的可挠性材质形成，在上述外侧支撑体的圆周面上形成有用于收容上述基板的边缘的凹槽。

13.根据权利要求12所述的基板旋转装置的接触支撑体，其特征在于，

在上述外侧支撑体和上述内侧支撑体相接触的面中位于上述凹槽的内侧的部分，在上述外侧支撑体和上述内侧支撑体中的任意一个以上形成有凹入部，使得在上述内侧支撑体和上述外侧支撑体之间具有空间部。

14.根据权利要求13所述的基板旋转装置的接触支撑体，其特征在于，

上述空间部形成为环状，用于收容被上述凹槽按压所致的变形。

15.根据权利要求13所述的基板旋转装置的接触支撑体，其特征在于，

上述空间部形成为环状，其收容用于使上述外侧支撑体和上述内侧支撑体结合的粘结剂。

16.一种基板旋转装置，其特征在于，包括：

旋转轴，向垂直方向延伸并旋转；以及

根据权利要求12至15中任一项所述的接触支撑体，利用连接螺栓紧固于上述旋转轴的上端部，

且具有支架，其借助上述凹槽来支撑上述基板的边缘，并使上述基板旋转。