[发明专利]一种石英推拉舟

说明书

本发明提供了一种石英推拉舟，包括平行设置的第一舟轴和第二舟轴、连接于第一舟轴和第二舟轴两端的连接轴、横跨于第一舟轴和第二舟轴上的第一插片档桥组及第二插片档桥组，第一插片档桥组和第二插片档桥组包括多个插片档桥，相邻插片档桥之间放置石英插片；第一舟轴上设置多个第一舟槽，第二舟轴上设置多个第二舟槽，第一舟槽和第二舟槽对应设置，晶圆片通过第一舟槽和第二舟槽被承载在石英推拉舟上；第一插片档桥组和第二插片档桥组分别固定于第一舟轴和第二舟轴的两端，第一舟槽和第二舟槽设置于第一插片档桥组和第二插片档桥组之间。本发明解决了陪片不便于管理且极易沾污和缺损的问题，节省了成本，保证了晶圆片片间温度和气流的均匀性。

技术领域

本发明属于石英舟制造技术领域，涉及一种石英推拉舟。

背景技术

晶圆扩散工艺是将晶圆片放入高温扩散炉中，通以氮气和POCL3等气体，在高温下分解后在晶圆片表面形成P-N结。高温扩散炉的管道为石英材料的圆形管道，扩散时，首先将晶圆片放在石英舟上，然后用石英杆或金属杆将石英舟送入管道中进行烘烤。

目前产线上普遍使用石英推拉舟，正常晶圆片放在石英推拉舟中间，不合格的晶圆片作为陪片放置在正常晶圆片的前后，以达到炉管内的温度和气流均匀的目的，保证晶圆产品参数的一致性。但是使用石英推拉舟的工序存在较多的陪片，不便于管理，在定期清洗过程中可能存在漏清洗及重复清洗的情况，且在连续作业情况下，陪片极易沾污和缺损，会使温度和气流的均匀性变差，影响晶圆片的参数。另外，陪片与正常晶圆片一样，厚度薄，也是消耗品，经常需要添加，成本高。

发明内容

鉴于此，本发明提供了一种石英推拉舟，以解决陪片不便于管理且极易沾污和缺损的问题，节省成本，保证晶圆片片间温度和气流的均匀性。

为实现上述目的，本发明采用如下技术方案：

一方面，本发明实施例提供一种石英推拉舟，包括平行设置的第一舟轴和第二舟轴、连接于所述第一舟轴和所述第二舟轴两端的连接轴、横跨于所述第一舟轴和所述第二舟轴上的第一插片档桥组及第二插片档桥组，所述第一插片档桥组和所述第二插片档桥组分别包括多个插片档桥，相邻插片档桥之间放置有石英插片；

所述第一舟轴上设置有多个第一舟槽，所述第二舟轴上设置有多个第二舟槽，所述多个第一舟槽和所述多个第二舟槽对应设置，多个晶圆片通过所述多个第一舟槽和所述多个第二舟槽被承载在所述石英推拉舟上；

所述第一插片档桥组和所述第二插片档桥组分别固定于所述第一舟轴和所述第二舟轴的两端，所述多个第一舟槽和所述多个第二舟槽设置于所述第一插片档桥组和所述第二插片档桥组之间。

进一步地，还包括固定于所述第一舟轴下方的第三舟轴，以及固定于所述第二舟轴下方的第四舟轴。

进一步地，还包括设置于所述第一舟轴和所述第二舟轴同端的挂鼻。

进一步地，所述挂鼻呈三角形。

进一步地，还包括用于固定所述第一舟轴和所述第二舟轴的至少两个固定轴。

进一步地，所述多个第一舟槽和所述多个第二舟槽的开口呈V形。

进一步地，所述石英插片呈圆形，且半径大于石英推拉舟上的晶圆片的半径。

进一步地，所述石英插片表面喷砂。

进一步地，所述第三舟轴和所述第四舟轴呈圆柱形。

进一步地，所述插片档桥呈梯形。

与现有技术相比，本发明技术方案的优点是：