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[发明专利]一种石英推拉舟-CN201511025863.5有效
发明人：崔严匀;巴建锋;季勇 -专利权人：无锡华润华晶微电子有限公司
申请日： 2015-12-31 - 公布日： 2020-06-19 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明提供了一种石英推拉舟，包括平行设置的第一舟轴和第二舟轴、连接于第一舟轴和第二舟轴两端的连接轴、横跨于第一舟轴和第二舟轴上的第一插片档桥组及第二插片档桥组，第一插片档桥组和第二插片档桥组包括多个插片档桥，相邻插片档桥之间放置石英插片；第一舟轴上设置多个第一舟槽，第二舟轴上设置多个第二舟槽，第一舟槽和第二舟槽对应设置，晶圆片通过第一舟槽和第二舟槽被承载在石英推拉舟上；第一插片档桥组和第二插片档桥组分别固定于第一舟轴和第二舟轴的两端，第一舟槽和第二舟槽设置于第一插片档桥组和第二插片档桥组之间。本发明解决了陪片不便于管理且极易沾污和缺损的问题，节省了成本，保证了晶圆片片间温度和气流的均匀性。
一种石英推拉

[发明专利]一种用于在晶圆上生长二氧化硅的笼舟及生长方法-CN201510383636.3有效
发明人： 巴建锋;崔严匀;赵万里 -专利权人：无锡华润华晶微电子有限公司
申请日： 2015-07-02 - 公布日： 2019-05-24 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于在晶圆上生长二氧化硅的笼舟及生长方法，其中，该笼舟包括：第一半圆筒，所述第一半圆筒上开有第一进气口；第二半圆筒，所述第二半圆筒上开有第二进气口，所述第二半圆筒和所述第一半圆筒可拆卸式拼接形成筒状结构；至少两个固定棒，所述第一半圆筒的轴向方向为第一方向，所述固定棒沿所述第一方向固定于所述第一半圆筒的内侧，所述第一方向为所述第一半圆筒的轴向方向，每个所述固定棒上在所述第一方向上位于同一位置的固定槽形成固定槽组，所述固定槽组用于固定至少一个粘贴有晶圆的硅片。本发明实施例提供的用于在晶圆上生长二氧化硅的笼舟及生长方法制备的二氧化硅的膜质质量较好，且作业效率较高、设备投资成本较低。
一种用于晶圆上生长二氧化硅方法

[发明专利]一种GaN半导体LED芯片制作方法-CN201210159281.6有效
发明人： 巴建锋;余志炎;王磊;路鹏;李国琪;王强;巩春梅 -专利权人：无锡华润华晶微电子有限公司
申请日： 2012-05-22 - 公布日： 2013-12-04 - 主分类号： H01L33/00 文献下载
摘要：一种GaN半导体LED芯片制作工艺，包括：在蓝宝石衬底上生长n型GaN层、多量子阱层和p型GaN层；生长掺锡氧化铟即ITO透明电极层；对ITO透明电极层进行过腐蚀；进行干法腐蚀，从p型GaN层刻蚀到n型GaN层，从而形成台面结构；在ITO层上沉积SiO2保护层；刻蚀出p型电极区域和n型电极区域；分别生长p型电极欧姆接触层和n型电极层；对蓝宝石衬底进行减薄、抛光、划片和裂片处理。本发明的工艺简单、成本低。
一种 gan 半导体 led 芯片制作方法