[发明专利]一种制备高纯度硅颗粒的方法有效
| 申请号: | 201510632181.4 | 申请日: | 2015-09-29 |
| 公开(公告)号: | CN105417545B | 公开(公告)日: | 2018-11-23 |
| 发明(设计)人: | 朱嘉;宗麟奇;崔屹 | 申请(专利权)人: | 南京大学 |
| 主分类号: | C01B33/037 | 分类号: | C01B33/037 |
| 代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 11038 | 代理人: | 李帆 |
| 地址: | 210093 江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 制备 纯度 颗粒 方法 | ||
1.一种制备高纯度硅颗粒的方法,该方法包括:
a)获得原料硅颗粒,所述原料硅颗粒的平均粒度小于或等于0.11微米;
b)将所述原料硅颗粒在真空或非氧化气氛下热处理,热处理温度为500℃以上,热处理时间为30分钟以上;
c)酸洗所述原料硅颗粒;
步骤b)中所述非氧化气氛为惰性气体气氛、还原性气体气氛、或惰性气体和还原性气体的混合气氛;
步骤c)酸洗包括:超声震荡含有原料硅颗粒的酸溶液。
2.根据权利要求1所述的制备高纯度硅颗粒的方法,其中,步骤b)中热处理的温度为700~1500℃。
3.根据权利要求1所述的制备高纯度硅颗粒的方法,其中,步骤b)中热处理的温度为800~1200℃。
4.根据权利要求1所述的制备高纯度硅颗粒的方法,其中,步骤b)中热处理的温度为900~1100℃。
5.根据权利要求1所述的制备高纯度硅颗粒的方法,其中,步骤b)中热处理的时间为90分钟以上。
6.根据权利要求1所述的制备高纯度硅颗粒的方法,其中,步骤b)中热处理的时间为100~200分钟。
7.根据权利要求1所述的制备高纯度硅颗粒的方法,其中,步骤b)中所述非氧化气氛为惰性气体和还原性气体的混合气氛。
8.根据权利要求7所述的制备高纯度硅颗粒的方法,所述非氧化气氛为氢气和氩气的混合气氛。
9.根据权利要求8的制备高纯度硅颗粒的方法,氢气和氩气的体积比为2:98。
10.根据权利要1所述的制备高纯度硅颗粒的方法,其中,步骤a)包括:采用球磨的方法获得所述原料硅颗粒。
11.根据权利要求10所述的制备高纯度硅颗粒的方法,球磨的时间为30~400分钟。
12.根据权利要求10所述的制备高纯度硅颗粒的方法,球磨的速度为400~1000转/分钟。
13.根据权利要求10所述的制备高纯度硅颗粒的方法,其中球磨使用的磨球直径为1~5mm。
14.根据权利要求10所述的制备高纯度硅颗粒的方法,所述球磨包括以下i)至ii)两步:
i)将原料硅小块在700~900转/分钟的转速下球磨1~3小时;
ii)将步骤i)的产物在1000~1200转/分钟的转速下球磨1~3小时。
15.根据权利要求10所述的制备高纯度硅颗粒的方法,所述球磨包括:将原料硅小块在氩气的氛围中800转/分钟的转速下使用3mm的磨球球磨2小时;再在氩气的氛围中1100转/分钟的转速下使用1mm的磨球球磨2小时,获得原料硅颗粒。
16.根据权利要1所述的制备高纯度硅颗粒的方法,其中,步骤c)中酸洗所用的酸溶液含有以下物质的一种或多种:HF、HCl和HNO3。
17.根据权利要求16所述的制备高纯度硅颗粒的方法,其中,所述酸溶液含有HF、HCl和HNO3,其中,HF的浓度为0.3~1mol/L,HCl的浓度为3~8mol/L,HNO3的浓度为3~8mol/L。
18.根据权利要求17所述的制备高纯度硅颗粒的方法,其中HF的浓度为0.4~0.6mol/L。
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