[发明专利]一种半导体生产设备支架

权利要求书

1.一种半导体生产设备支架，其特征在于：包括一呈长方体的支架本体，所述支架本体的内部呈中空状，所述支架本体的一正面呈敞开状，所述支架本体长度方向的一端固定一正方体定位块，所述定位块上设有一定位孔，所述定位孔的轴心线与所述支架本体长度方向的中心线呈45度夹角，所述支架本体的下端面固定一倒T形定位板，所述倒T形定位板位于所述支架本体长度方向的另一端；

所述倒T形定位板的竖直部固定在所述支架本体上，横直部的侧壁与所述支架本体长度方向的端面之间固定一支撑板；

所述定位块呈45度角倾斜固定在所述支架本体上，所述定位孔位于所述定位块的中间；

所述支架本体的下端面固设一凸台，所述凸台上设有若干通孔，所述通孔竖直贯穿所述支架本体，所述凸台位于所述支架本体靠近所述定位块的一端部分；

所述支架本体的上端面固设一固定板，所述固定板位于所述支架本体靠近所述倒T形定位板的一端部分，所述固定板上固定有若干凸起的圆形定位柱，所述定位柱内部设有螺纹孔。

2.根据权利要求1所述的一种半导体生产设备支架，其特征在于：所述倒T形定位板横直部的前后两端延伸出所述支架本体，所述倒T形定位板横直部的前后两端均设有若干装配孔。