[发明专利]显示面板、薄膜晶体管阵列基板及其制作方法在审
申请号: | 201510365975.9 | 申请日: | 2015-06-29 |
公开(公告)号: | CN104966719A | 公开(公告)日: | 2015-10-07 |
发明(设计)人: | 叶江波 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | H01L27/12 | 分类号: | H01L27/12;G02F1/1368 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 显示 面板 薄膜晶体管 阵列 及其 制作方法 | ||
【技术领域】
本发明涉及显示技术领域,特别涉及一种显示面板、薄膜晶体管阵列基板及其制作方法。
【背景技术】
如图1至图3所示,传统的显示面板中的薄膜晶体管阵列基板一般包括基板101、扫描线层、第一绝缘层102、非晶硅层、数据线层103、第一透明电极层104、第二绝缘层以及第二透明电极层。
其中,在形成所述数据线层103之后,以及在形成所述第二绝缘层之前,所述第一透明电极层104上往往会出现孔洞105,这些孔洞105是所述第一透明电极层104上的颗粒受腐蚀性物质201的作用或显影工序(显影液301)的影响而形成的。
如图4所示,这些孔洞会造成所述数据线层中的部分线路断线,从而影响整个显示面板的显示效果。
故,有必要提出一种新的技术方案,以解决上述技术问题。
【发明内容】
本发明的目的在于提供一种显示面板、薄膜晶体管阵列基板及其制作方法,其能避免出现断线缺陷,确保显示效果。
为解决上述问题,本发明的技术方案如下:
一种显示面板,所述显示面板包括:彩色滤光片阵列基板;液晶层;以及薄膜晶体管阵列基板;所述薄膜晶体管阵列基板包括:基板;第一金属层,所述第一金属层设置于所述基板上;第一绝缘层,所述第一绝缘层设置于所述基板和所述第一金属层上;半导体层,所述半导体层设置于所述第一绝缘层上;第二金属层,所述第二金属层设置于所述第一绝缘层上;第一透明电极层,所述第一透明电极设置于所述第一绝缘层和所述第二金属层上;第二绝缘层,所述第二绝缘层设置于所述第一透明电极层上;以及第二透明电极层,所述第二透明电极层设置于所述第二绝缘层上;所述薄膜晶体管阵列基板还包括:修补层,所述修补层设置于所述第一透明电极层上,并且,所述修补层设置于所述第一透明电极和所述第二绝缘层之间。
在上述显示面板中,所述第一金属层、所述第一绝缘层、所述半导体层、所述第二金属层、所述第一透明电极层、所述修补层、所述第二绝缘层和所述第二透明电极层是依次形成的。
在上述显示面板中,所述修补层用于修补所述第一透明电极层上位于所述第二金属层处的第一孔洞,以防止所述第二金属层在所述第一孔洞处受损。
在上述显示面板中,所述第一透明电极层用于修补所述修补层上位于所述第二金属层处的第二孔洞,以防止所述第二金属层在所述第二孔洞处受损。
一种薄膜晶体管阵列基板,所述薄膜晶体管阵列基板包括:基板;第一金属层,所述第一金属层设置于所述基板上;第一绝缘层,所述第一绝缘层设置于所述基板和所述第一金属层上;半导体层,所述半导体层设置于所述第一绝缘层上;第二金属层,所述第二金属层设置于所述第一绝缘层上;第一透明电极层,所述第一透明电极设置于所述第一绝缘层和所述第二金属层上;第二绝缘层,所述第二绝缘层设置于所述第一透明电极层上;以及第二透明电极层,所述第二透明电极层设置于所述第二绝缘层上;所述薄膜晶体管阵列基板还包括:修补层,所述修补层设置于所述第一透明电极层上,并且,所述修补层设置于所述第一透明电极和所述第二绝缘层之间。
在上述薄膜晶体管阵列基板中,所述第一金属层、所述第一绝缘层、所述半导体层、所述第二金属层、所述第一透明电极层、所述修补层、所述第二绝缘层和所述第二透明电极层是依次形成的。
在上述薄膜晶体管阵列基板中,所述修补层用于修补所述第一透明电极层上位于所述第二金属层处的第一孔洞,以防止所述第二金属层在所述第一孔洞处受损。
在上述薄膜晶体管阵列基板中,所述第一透明电极层用于修补所述修补层上位于所述第二金属层处的第二孔洞,以防止所述第二金属层在所述第二孔洞处受损。
一种上述薄膜晶体管阵列基板的制作方法,所述方法包括以下步骤:A、在所述基板上依次形成所述第一金属层、所述第一绝缘层、所述半导体层、所述第二金属层、所述第一透明电极层;B、在所述第一透明电极层上设置所述修补层,以利用所述修补层修补所述第一透明电极层上位于所述第二金属层处的第一孔洞;C、在所述修补层上依次设置所述第二绝缘层和所述第二透明电极层。
在上述薄膜晶体管阵列基板的制作方法中,所述修补层的材料为透明金属、透明绝缘材料中的任意一者。
相对现有技术,本发明能有效避免所述薄膜晶体管阵列基板的所述第二金属层中出现断线缺陷,有利于确保显示面板的显示质量。
为让本发明的上述内容能更明显易懂,下文特举优选实施例,并配合所附图式,作详细说明如下。
【附图说明】
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的