[发明专利]量子点发光二极管结构及制造方法有效
申请号: | 201510179349.0 | 申请日: | 2015-04-15 |
公开(公告)号: | CN104795506B | 公开(公告)日: | 2017-04-26 |
发明(设计)人: | 曹进;张雪;周洁;谢婧薇;陈赟汉;陈安平;魏翔;张建华 | 申请(专利权)人: | 上海大学 |
主分类号: | H01L51/50 | 分类号: | H01L51/50;H01L51/52;H01L51/56 |
代理公司: | 广州华进联合专利商标代理有限公司44224 | 代理人: | 吴平 |
地址: | 200444*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 量子 发光二极管 结构 制造 方法 | ||
1.一种量子点发光二极管结构,其特征在于,包括:
基板;
设置在所述基板上的阴极,和依次形成于所述阴极上的电子注入层、电子传输层;
设置在所述基板上的阳极,和依次形成于所述阳极上的空穴注入层,空穴传输层;以及
与所述电子传输层、所述空穴传输层相连接的量子发光层,所述电子传输层、所述空穴传输层分布在所述量子发光层同一侧;
在所述基板中分层挖设导电沟槽,所述阴极与阳极在所述基板中分层设置,通过通孔互连将底面的电极引至所述基板表面。
2.根据权利要求1所述的量子点发光二极管结构,其特征在于,所述基板为玻璃基板或陶瓷基板。
3.根据权利要求2所述的量子点发光二极管结构,其特征在于,所述基板上设置有反射层。
4.根据权利要求3所述的量子点发光二极管结构,其特征在于,还包括第二电极,所述第二电极包括第二正电极与第二负电极,所述第二正电极设置在所述阳极远离所述阴极侧,所述第二负电极设置在所述阴极远离所述阳极侧。
5.一种量子点发光二极管制造方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1,在基板上形成阴极区域与阳极区域;
S2,在所述阴极区域上依次形成阴极、电子注入层和电子传输层;在所述阳极区域上依次形成阳极、空穴注入层和空穴传输层;以及
S3,在所述电子传输层、空穴传输层上形成量子发光层,所述电子传输层与所述空穴传输层位于所述量子发光层同一侧;
所述步骤S1具体包括:
S11,在所述基板上分层开设导电沟槽;
S12,在所述导电沟槽中填入导电材料,制成导电层;
S13,通过通孔互连将所述导电层引至所述基板表面,形成所述阴极区域与所述阳极区域。
6.根据权利要求5所述的量子点发光二极管制造方法,其特征在于,所述步骤S1前,还包括步骤:
S0,在所述基板上形成反射层。
7.根据权利要求6所述的量子点发光二极管制造方法,其特征在于,所述步骤S2具体为:
S21,利用掩膜板将所述阴极、电子注入层与电子传输层蒸镀在所述基板阴极区域上;
S22,利用掩膜板将所述阳极、空穴注入层与空穴传输层蒸镀在所述基板阳极区域上。
8.根据权利要求7所述的量子点发光二极管制造方法,其特征在于,所述步骤S3中形成所述量子发光层的方法为旋涂或喷墨打印。
9.根据权利要求5所述的量子点发光二极管制造方法,其特征在于,还包括步骤:
S4,在所述量子发光层两侧蒸镀第二正电极与第二负电极,所述第二正电极位于所述空穴传输层远离所述电子传输层一侧,所述第二负电极位于所述电子传输层远离所述空穴传输层一侧。
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H01L51-00 使用有机材料作有源部分或使用有机材料与其他材料的组合作有源部分的固态器件;专门适用于制造或处理这些器件或其部件的工艺方法或设备
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H01L51-42 .专门适用于感应红外线辐射、光、较短波长的电磁辐射或微粒辐射;专门适用于将这些辐射能转换为电能,或者适用于通过这样的辐射进行电能的控制
H01L51-50 .专门适用于光发射的,如有机发光二极管
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H01L51-54 .. 材料选择