[发明专利]COA型液晶面板的制作方法及COA型液晶面板有效
申请号: | 201510119334.5 | 申请日: | 2015-03-18 |
公开(公告)号: | CN104656325B | 公开(公告)日: | 2017-06-27 |
发明(设计)人: | 徐洪远;孙博 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/1343 | 分类号: | G02F1/1343;G02F1/1335;G02F1/1333 |
代理公司: | 深圳市德力知识产权代理事务所44265 | 代理人: | 林才桂 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | coa 液晶面板 制作方法 | ||
1.一种COA型液晶面板的制作方法,其特征在于,包括如下步骤:
步骤1、提供阵列基板(1)与玻璃基板(2);
所述阵列基板(1)包括红、绿、蓝色子像素区域,每一子像素区域包括基板(11)、设于所述基板(11)上的栅极(12)及扫描线、设于所述栅极(12)上覆盖所述基板(11)的栅极绝缘层(13)、设于所述栅极绝缘层(13)上且对应所述栅极(12)设置的半导体层(14)、设于所述栅极绝缘层(13)上与所述半导体层(14)的两端相接触的源/漏极(16)、设于所述栅极绝缘层(13)上且在水平方向上与扫描线垂直交叉排列的信号线(15)、及设于所述源/漏极(16)上覆盖所述栅极绝缘层(13)的钝化层(17);
步骤2、在所述钝化层(17)上形成色阻层(18);
所述色阻层(18)对应所述红、绿、蓝色子像素区域分别形成红、绿、蓝色阻块,横向排列的相邻的两色阻块之间形成第一交接区域(83),所述第一交接区域(83)位于所述信号线(15)上方,纵向排列的相邻的两色阻块之间形成第二交接区域,所述第二交接区域位于所述扫描线上方;
步骤3、在所述色阻层(18)上对应所述源/漏极(16)的上方形成第一过孔(81),并在所述色阻层(18)上形成第一像素电极层(19);
所述第一像素电极层(19)经由所述第一过孔(81)与所述源/漏极(16)相接触;
步骤4、在所述第一像素电极层(19)上形成平坦层(21),并在所述平坦层(21)上形成第二过孔(82);
步骤5、在所述平坦层(21)上沉积并图案化第二像素电极层(23);
所述第二像素电极层(23)经由所述第二过孔(82)与所述第一像素电极层(19)相接触,所述第二像素电极层(23)包括分别位于各子像素区域的像素电极块,所述像素电极块的横向边界位于所述扫描线上方,纵向边界位于所述信号线(15)上方;
步骤6、在所述玻璃基板(2)上对应所述半导体层(14)的位置形成点状黑色矩阵(24),并在所述黑色矩阵(24)上形成公共电极层(25);
步骤7、将所述阵列基板(1)与玻璃基板(2)对组,并灌入液晶层(3)。
2.如权利要求1所述的COA型液晶面板的制作方法,其特征在于,所述步骤2采用涂布制程形成所述色阻层(18)。
3.如权利要求1所述的COA型液晶面板的制作方法,其特征在于,所述步骤4通过曝光制程形成所述第二过孔(82),所述平坦层(21)为透明有机材料。
4.如权利要求1所述的COA型液晶面板的制作方法,其特征在于,所述步骤5采用物理气相沉积法形成所述第二像素电极层(23)。
5.如权利要求1所述的COA型液晶面板的制作方法,其特征在于,所述第一像素电极层(19)、第二像素电极层(23)、及公共电极层(25)的材料均为氧化铟锡。
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