[发明专利]电子封装件、封装载板及两者的制造方法在审
申请号: | 201510080332.X | 申请日: | 2015-02-13 |
公开(公告)号: | CN105185716A | 公开(公告)日: | 2015-12-23 |
发明(设计)人: | 康政畬;杨正雄;卓恩民 | 申请(专利权)人: | 群成科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/48 | 分类号: | H01L21/48;H01L23/498;H01L21/60;H01L23/12 |
代理公司: | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人: | 许志勇 |
地址: | 中国台湾新竹县*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 电子 封装 装载 两者 制造 方法 | ||
1.一种封装载板的制造方法,包括:
提供一承载板与一导体层,且所述导体层位在所述承载板上;
在所述导体层上形成一绝缘图案,且所述绝缘图案暴露部分所述导体层;
提供一支撑板,并将所述绝缘图案与所述支撑板结合,且所述绝缘图案接触于所述支撑板;
在所述绝缘图案与所述支撑板结合之后,移除所述承载板,并保留所述导体层;以及
在移除所述承载板之后,图案化所述导体层,以形成一线路层。
2.如权利要求1所述的封装载板的制造方法,其特征在于,所述绝缘图案为一防焊层。
3.如权利要求1所述的封装载板的制造方法,更包括在所述绝缘图案所暴露的部分所述导体层上形成一接合材料。
4.如权利要求3所述的封装载板的制造方法,其特征在于,所述接合材料为焊料、金属层或有机助焊层。
5.如权利要求1所述的封装载板的制造方法,其特征在于,所述支撑板具有一与所述绝缘图案配合的凹陷图案,在所述绝缘图案与所述支撑板结合之后,所述绝缘图案位于所述凹陷图案内。
6.如权利要求1所述的封装载板的制造方法,其特征在于,所述承载板包括一主体板与一离型层,所述离型层配置在所述导体层与所述主体板之间。
7.如权利要求1所述的封装载板的制造方法,在形成所述线路层之后,更包括在所述线路层上形成一暴露所述线路层的防焊层。
8.如权利要求7所述的封装载板的制造方法,其特征在于,所述支撑板包括一与所述线路层电性导通的金属层,在形成所述防焊层之后,更包括:
对所述金属层通电,以对所述线路层进行电镀,从而形成一保护层,且所述防焊层暴露所述保护层。
9.如权利要求1所述的封装载板的制造方法,在形成所述线路层之后,更包括改变所述线路层的表面粗糙度。
10.如权利要求1所述的封装载板的制造方法,其特征在于:
提供至少两层所述导体层,且所述承载板位于所述些导体层之间;
在所述些导体层上分别形成所述些绝缘图案;
提供两块所述支撑板;
将所述些绝缘图案与所述些支撑板分别结合,且所述些绝缘图案接触于所述些支撑板;
在所述些绝缘图案与所述些支撑板结合之后,移除所述承载板,并保留所述些导体层;以及
在移除所述承载板之后,图案化所述些导体层,以分别形成所述些线路层。
11.一种封装载板的制造方法,包括:
在一承载板上形成一线路结构与一绝缘图案,所述绝缘图案连接所述线路结构,且所述线路结构位在所述绝缘图案与所述承载板之间;
提供一支撑板,并将所述绝缘图案与所述支撑板结合,且所述绝缘图案接触于所述支撑板;以及
在所述绝缘图案与所述支撑板结合之后,移除所述承载板,并保留所述线路结构。
12.如权利要求11所述的封装载板的制造方法,其特征在于,形成所述线路结构的方法包括:
提供一位在所述承载板上的导体层;
在所述导体层上形成一阻障层;以及
在所述阻障层上形成至少一线路层,且所述绝缘图案形成在所述至少一线路层上。
13.如权利要求12所述的封装载板的制造方法,其特征在于,在移除所述承载板之后,移除所述阻障层与所述导体层。
14.如权利要求12所述的封装载板的制造方法,其特征在于,形成所述至少一线路层的方法包括:
在所述阻障层上形成一种子层,且所述阻障层位于所述导体层与所述种子层之间;以及
在移除所述承载板之后,更移除所述种子层。
15.如权利要求11所述的封装载板的制造方法,其特征在于,形成所述线路结构的方法包括:
在所述承载板上形成一第一线路层;
在所述第一线路层上形成多根金属柱;
在形成所述些金属柱之后,形成一覆盖所述第一线路层与所述些金属柱的介电层;以及
在所述介电层上形成一连接所述些金属柱的第二线路层。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造