[发明专利]基板检查探测装置和基板检查方法

说明书

一种基板检查探测装置和基板检查方法，在重新调整端子和探测器的相对位置时，不需要对准用的CCD照相机、促动机构就可实现检查。基板检查探测装置具备与检查用端子部(7)的构成端子的排列间距对应的探测器群(A、C)，探测器群(A、C)在端子的排列方向上错开，设有测量检查用端子部(7)的2个端子间的电阻值R的电阻测量部(12)，并且针对各端子设有切换开关(11)。

技术领域

本发明涉及基板检查探测装置和基板检查方法。

背景技术

近年来，显示面板搭载于以便携电话、智能电话、平板电脑等为代表的中小型数字制品。这种显示面板由以下方法制造。首先，在所谓母玻璃上制作CF面板基板和TFT面板基板各自的基板。然后，在用密封材料等贴合CF面板基板和TFT面板基板后，利用切割轮将CF面板基板侧切割。然后，使母玻璃反转，利用多个切割轮将TFT面板基板侧切割。通过这种切割，将贴合的一对基板按规定的尺寸切割，制作显示面板。

该显示面板的切割精度会由于切割轮的晃动、切割轮的定位精度、CF面板基板侧和TFT面板基板侧的切割错位等因素而相对于设定值产生±0.1mm程度的切割偏差。

对按规定尺寸切割的显示面板，使检查单元的探测器接触形成于TFT基板表面的端子部，进行规定的点亮检查。通过该点亮检查，进行电极的断路、短路、点亮状态的确认来实施显示面板的检查。

在该点亮检查中，需要端子部和探测器高精度的对位。例如，在TFT液晶显示面板中，当由于错位而导致对引导端子施加错误电压时，根据该电压施加的时间会使TFT损坏。因此，由于面板的切割位置精度偏差的影响，在根据显示面板的外形基准来定位面板并使探测器接触的情况下，会由于上述错位而频发TFT损坏的情况。

因此，在显示面板的检查中，多数情况下使用具有自动对准机构的检查装置。例如专利文献1公开了具有自动对准机构的检查装置。

根据使用该检查装置的检查方法，首先，用CCD照相机拍摄设于液晶显示面板的对准标记，用图像处理单元对该拍摄信号进行处理来确定液晶显示面板的引导端子的位置。然后，基于确定的引导端子的位置数据来使探针或者液晶显示面板移动，进行端子部和探针的对位。在专利文献1中，提出了对端子部施加点亮电压之前，在使探针实际接触的状态下可靠地检测端子部和探针的对位状态的方案。

在利用专利文献1的检查装置进行的检查方法中，在端子部配置有虚拟端子，在保持探针的探头侧各设有一对经上述虚拟端子流过导通检查电流的电流探针。并且，在使全部上述电压探针和上述电流探针与上述端子部接触后，仅使上述电流探针间流过导通检查电流。然后，根据该电流的导通、非导通来检测上述电压探针和上述引导端子之间有无错位。在上述电流探针间电流导通而位置不错开的情况下，原样保持使上述电流探针与上述虚拟端子接触的状态，从上述电压探针分别对上述引导端子施加点亮电压。

根据专利文献1的检查方法，在端子部和探测器的高精度对位后用虚拟端子确认导通，由此能在确认最终的端子部和探测器的对位状态后实施点亮检查。因此，不会由于错位而损坏TFT。

另外，例如专利文献2公开了一种显示器面板的点亮检查装置。而且，专利文献3公开了一种导通检查装置，使检查探测器与形成于基板表面的导体图案接触来进行导体图案的导通检查。

现有技术文献

专利文献1：专利第4803692号(2011年10月26日发行)

专利文献2：特开2004-170238号公报(2004年6月17日公开)

专利文献3：特开平10-115653号公报(1998年5月6日公开)

发明内容

发明要解决的问题