[发明专利]一种SPR传感芯片及其制备方法有效
| 申请号： | 201510070207.0 | 申请日： | 2015-02-11 |
| 公开（公告）号： | CN104634763B | 公开（公告）日： | 2018-01-23 |
| 发明（设计）人： | 王晓萍;董伟;庞凯 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01N21/552 | 分类号： | G01N21/552 |
| 代理公司： | 杭州天勤知识产权代理有限公司33224 | 代理人： | 蒋琼 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 spr 传感 芯片 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种SPR传感芯片，包括平面玻璃基板，其特征在于，所述平面玻璃基板上覆盖有厚度大于150nm的第一金属膜，所述第一金属膜的顶面设有微孔阵列，每一微孔的底部均覆盖有第二金属膜，所述第二金属膜的顶面设有周期排列的若干纳米金属线；
所述第二金属膜的厚度为30～50nm；
两纳米金属线之间间隔的宽度与纳米金属线的线宽均为100nm；
所述的SPR传感芯片通过以下方法制备得到：
(1)在洗净的平面玻璃基板上依次镀上铬层和第一金属膜；
(2)在第一金属膜的顶面预留用于开设微孔的位置，其余部位覆盖保护膜；
(3)在第一金属膜的预留位置处开设微孔，然后除去保护膜；
(4)在微孔底部镀第二金属膜，并在第二金属膜的顶面依次刻蚀或沉积出每根纳米金属线。
2.如权利要求1所述的SPR传感芯片，其特征在于，每个微孔内至少设有30根纳米金属线。
3.如权利要求1所述的SPR传感芯片，其特征在于，所述第一金属膜的厚度为150～300nm。
4.如权利要求1所述的SPR传感芯片，其特征在于，所述平面玻璃基板的厚度不超过0.5mm。
5.一种SPR传感器，包括棱镜，以及与棱镜相耦合的SPR传感芯片，其特征在于，所述SPR传感芯片为权利要求1～4任一所述的SPR传感芯片，所述棱镜与SPR传感芯片中平面玻璃基板的材质相同。
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