[发明专利]溅射靶及其制造方法在审
| 申请号： | 201480059996.1 | 申请日： | 2014-10-14 |
| 公开（公告）号： | CN105705673A | 公开（公告）日： | 2016-06-22 |
| 发明（设计）人： | 石田新太郎 | 申请（专利权）人： | 三井金属矿业株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;H01L21/363 |
| 代理公司： | 北京金信知识产权代理有限公司 11225 | 代理人： | 黄威;苏萌萌 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 溅射 及其 制造 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种溅射靶，其为使用金属性锌的含量为100ppm以下的氧化锌原料 而被制造出的含有氧化锌的溅射靶。
2.一种溅射靶，其为使用金属性锌的含量在10ppm以下的氧化锌原料而 被制造出的含有氧化锌的溅射靶。
3.如权利要求1或2所述的溅射靶，其为AZO制。
4.如权利要求1或2所述的溅射靶，其为IGZO制。
5.一种溅射靶的制造方法，其包括：
使氧化锌原料的金属性锌的含量减少的工序、以及使用在所述工序中获 得的金属性锌的含量为100ppm以下的氧化锌原料来制造溅射靶的工序。
6.如权利要求5所述的溅射靶的制造方法，其中，
使所述氧化锌原料的金属性锌的含量减少的工序为，对氧化锌原料进行 热处理的工序。
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