[发明专利]层叠体、有机半导体制造用套组及有机半导体制造用光阻组合物有效
| 申请号： | 201480058649.7 | 申请日： | 2014-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN105683835B | 公开（公告）日： | 2019-11-26 |
| 发明（设计）人： | 水谷一良;岩井悠;小山一郎;加持义贵 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/038 | 分类号： | G03F7/038;B32B27/00;G03F7/004;G03F7/039;G03F7/11;H01L21/027;H01L21/3065 |
| 代理公司： | 11021 中科专利商标代理有限责任公司 | 代理人： | 刘文海<国际申请>=PCT/JP2014 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 层叠 有机半导体 制造 用套组 用光 组合 | ||
【权利要求书】：
1.一种层叠体，所述层叠体具有有机半导体膜、所述有机半导体膜上的保护膜、以及所述保护膜上的光阻膜，所述光阻膜包含感光性树脂组合物，所述感光性树脂组合物含有产生生成酸的pKa为-1以下的有机酸的光酸产生剂、以及与自所述光酸产生剂产生的酸反应而对于含有有机溶剂的显影液的溶解速度减小的树脂，
所述感光性树脂组合物凭借自光酸产生剂产生的生成酸而极性变化，对于包含有机溶剂的显影液的溶解速度减小。
2.根据权利要求1所述的层叠体，其中，
光酸产生剂包含选自磺酸、三烷基磺酰基甲基化酸及二烷基磺酰亚胺酸中的至少1种。
3.根据权利要求1或2所述的层叠体，其中，
光酸产生剂包含具有肟磺酸酯基和酰亚胺磺酸酯基中的至少一种基团的化合物。
4.根据权利要求1或2所述的层叠体，其中，
光酸产生剂包含具有锍阳离子和碘鎓阳离子中的至少一种阳离子的化合物。
5.根据权利要求1或2所述的层叠体，其中，
光酸产生剂包含重氮二砜化合物和二砜化合物中的至少一种化合物。
6.根据权利要求1或2所述的层叠体，其中，
保护膜包含水溶性树脂。
7.根据权利要求1或2所述的层叠体，其中，
感光性树脂组合物凭借自光酸产生剂产生的生成酸与树脂发生交联反应，由此对于包含有机溶剂的显影液的溶解速度减小。
8.根据权利要求1或2所述的层叠体，其中，
感光性树脂组合物包含将光酸产生剂分光增感的增感色素。
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