[发明专利]过滤器单元的预处理方法、处理液供给装置、过滤器单元的加热装置以及处理液供给路径的预处理方法

权利要求书

1.一种过滤器单元的预处理方法，在该过滤器单元的预处理方法中，为了除去包含在处理液中的异物而对设置于处理液供给路径的过滤器单元进行预处理，该处理液含有用于对被处理体进行液处理的溶剂，其特征在于，

该过滤器单元的预处理方法包含将过滤器部浸渍于预处理用的溶剂的工序，

构成所述过滤器单元的过滤器部的树脂相对于所述预处理用的溶剂的溶解度比所述树脂相对于所述处理液所使用的溶剂的溶解度高，

所述预处理用的溶剂是与所述处理液所包含的溶剂不同种类的溶剂。

2.根据权利要求1所述的过滤器单元的预处理方法，其特征在于，

将过滤器部浸渍于所述预处理用的溶剂的工序包含将存在于过滤器单元内的预处理用的溶剂置换为新的预处理用的溶剂的工序。

3.根据权利要求1所述的过滤器单元的预处理方法，其特征在于，

所述预处理用的溶剂是被加热了的溶剂。

4.根据权利要求3所述的过滤器单元的预处理方法，其特征在于，

该过滤器单元的预处理方法包含在将所述预处理用的溶剂导入所述过滤器单元之前对所述预处理用的溶剂进行预热的工序。

5.根据权利要求1所述的过滤器单元的预处理方法，其特征在于，

该过滤器单元的预处理方法包含对所述预处理用的溶剂施加超声波的工序。

6.一种处理液供给装置，该处理液供给装置是将包含用于对被处理体进行液处理的溶剂的处理液向被处理体供给的处理液供给装置，其特征在于，

该处理液供给装置具有：

处理液供给路径，其一端侧设置有用于向被处理体喷出处理液的处理液喷出部，其另一端侧与处理液供给源连接；

过滤器单元，其为了除去处理液中的异物而设置于所述处理液供给路径，并具有由树脂构成的过滤器部；

预处理机构，其形成将所述过滤器部浸渍在预处理用的溶剂的状态，

构成所述过滤器单元的过滤器部的树脂相对于所述预处理用的溶剂的溶解度比所述树脂相对于所述处理液所包含的溶剂的溶解度高，

所述预处理机构包含用于对所述过滤器部进行加热的加热机构，

所述加热机构具有收纳有过滤器单元的主体和用于对该主体进行加热的加热部，所述加热部具有：第1收纳部，其用于收纳第1反应物质；第2收纳部，其用于收纳通过与所述第1反应物质接触而产生发热反应的第2反应物质且与所述第1收纳部隔离开；隔离解除部，其用于解除第1反应物质和第2反应物质之间的隔离状态而使两者接触。

7.根据权利要求6所述的处理液供给装置，其特征在于，

所述预处理机构包含在将预处理用的溶剂导入所述过滤器单元之前对预处理用的溶剂进行预热的加热机构。

8.根据权利要求6所述的处理液供给装置，其特征在于，

所述预处理机构包含用于对过滤器部施加超声波的超声波震荡部。

9.一种处理液供给装置，该处理液供给装置是将包含用于对被处理体进行液处理的溶剂的处理液向被处理体供给的处理液供给装置，其特征在于，

该处理液供给装置具有：

处理液供给路径，其一端侧设置有用于向被处理体喷出处理液的处理液喷出部，其另一端侧与处理液供给源连接；

过滤器单元，其为了除去处理液中的异物而设置于所述处理液供给路径，并具有由树脂构成的过滤器部；

预处理机构，其形成将所述过滤器部浸渍在预处理用的溶剂的状态，

构成所述过滤器单元的过滤器部的树脂相对于所述预处理用的溶剂的溶解度比所述树脂相对于所述处理液所包含的溶剂的溶解度高，

所述预处理机构具有：预处理用的溶剂供给源，其用于供给与所述处理液所包含的溶剂不同种类的预处理用的溶剂；流路切换机构，其用于在将处理液从所述处理液供给源向所述过滤器部供给的处理液供给路径和将溶剂从所述预处理用的溶剂供给源向所述过滤器部供给的溶剂供给路径之间切换。

10.根据权利要求9所述的处理液供给装置，其特征在于，

所述预处理机构包含用于对过滤器部施加超声波的超声波震荡部。

11.根据权利要求9所述的处理液供给装置，其特征在于，

所述预处理机构包含在将预处理用的溶剂导入所述过滤器单元之前对预处理用的溶剂进行预热的加热机构。