[发明专利]物品的支承装置以及向支承装置载置两种物品的载置方法

说明书

技术领域

本发明涉及能够一并定位大小不同的两种物品并且将其向支承装 置上载置。

背景技术

针对大小不同的两种物品，若能够共用支承装置，则很便利。例如 在处理大小不同的两种半导体晶圆的工厂中，与晶圆对应地产生两种容 器，若能够通过相同的支承装置支承它们，则很便利。这些容器在底部 的三个位置具备剖面呈V字状的槽，通常，使设置于支承装置的三根销 与槽耦合而进行定位。若使用该槽定位容器，则只能够定位一方的物品。 因此，与容器相配合需要两种支承装置，没有效率。

对相关的现有技术进行表示。专利文献1(日本特开2007-287877) 提出了一种搬运系统，其通过将小的物品的容器收纳于大的物品的容器 内进行搬运从而能够搬运大小两种物品。

专利文献1:日本特开2007-287877

发明内容

本发明的课题在于提供能够一并定位并载置大小不同的两种物品 的支承装置与载置方法。

本发明的物品的支承装置，是载置多种物品的支承装置，

其特征在于，具备：

载置面，其能够一并载置第一物品、以及底部比上述第一物品大的 第二物品；

第一定位部件，其从上述载置面突出，对上述第一物品的底部进行 定位；以及

第二定位部件，其从上述载置面突出，对上述第二物品进行定位，

上述第一定位部件配置于在利用上述第二定位部件将上述第二物 品定位于载置面上时不与上述第二物品发生干涉的位置，

上述第二定位部件配置于在利用上述第一定位部件将上述第一物 品定位于载置面上时不与上述第一物品发生干涉的位置。

本发明的两种物品的载置方法，是在支承装置上载置多种物品的方 法，

其特征在于，

上述支承装置具备：载置面，其能够一并载置第一物品、以及底部比 上述第一物品大的第二物品；以及第一定位部件与第二定位部件，它们均 从上述载置面突出，

进行避免第二定位部件与第一物品发生干涉同时利用第一定位部件 定位第一物品而将第一物品载置于载置面上的步骤、以及避免第一定位部 件与第二物品发生干涉同时利用第二定位部件定位第二物品而将第二物 品载置于载置面上的步骤。

本发明的第一定位部件避免与第二物品的接触同时定位第一物品。 另外，第二定位部件避免与第一物品的接触同时定位第二物品。因此， 能够将一个支承装置共用于第一物品的支承与第二物品的支承。第一物 品与第二物品例如均是收纳半导体晶圆的容器，与第一物品相比，第二 物品收纳直径更大的半导体晶圆。

优选，上述第一定位部件为从载置面突出的至少一对销，且与上述 第一物品的底部的孔卡合，并且进入上述第二物品的底部的凹部内而不 与第二物品接触。这样的话，能够不妨碍第二物品的定位地简单地定位 并载置第一物品。

另外，优选，上述第二定位部件为从载置面突出的至少一对引导部 件，且构成为引导上述第二物品的底部的外周。由于第二物品的底部比 第一物品大，所以若以引导底部的外周的方式设置第二定位部件，则不 会与第一物品发生干涉。而且，通过利用至少一对引导部件进行引导， 能够可靠地定位第二物品。例如一对引导部件构成为分别具备倾斜方向 不同的一对锥形面，并且利用一对锥形面来引导第二物品的底部外周的 角部。

尤其是优选，上述第一定位部件为从载置面突出的至少一对销，且 与上述第一物品的底部的孔卡合，并且进入呈放射状设置于上述第二物 品的底部的例如3个定位用的槽内而不与第二物品接触。在第二物品具 备定位用的槽的情况下，能够在进入该槽的位置并且以与第一物品的底 部的孔卡合的方式设置销。因此，能够不与第二物品发生干涉地可靠地 定位第一物品。尤其是优选，上述第一物品在底部呈放射状地具备例如 3个定位用的槽，支承装置构成为以既不与上述第一物品的定位用的槽 接触也不与上述第二物品的定位用的槽接触的方式，定位上述第一物品 的底面和上述第二物品的底面。

附图说明

图1是表示排列有实施例的支承装置的状态的俯视图。

图2是沿着图1的II-II方向剖面表示在支承装置上载置有第一物品 的状态的主要部分的剖视图。

图3是沿着图1的III-III方向剖面表示在支承装置上载置有第二物 品的状态的主要部分的剖视图。