[发明专利]用于输入装置的电极及其制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及用于输入装置的电极及其制造方法。以下，举出触控面 板传感器作为输入装置的代表例进行说明，但本发明不限于此。

背景技术

触控面板传感器在液晶显示装置、有机EL装置等显示装置的显示画 面上作为输入装置贴合来使用。触控面板传感器由于其使用方便的好处， 被用于银行的ATM、售票机、导航系统、PDA(PersonalDigitalAssistants、 个人用便携信息终端)、复印机的操作画面等，近年来被广泛使用至便携 电话、平板PC。其输入点的检测方式中，可以举出电阻膜方式、电容方 式、光学式、超声波表面弹性波方式、压电式等。这些之中，便携电话、 平板PC中，电容方式由于响应性良好、不花费成本、结构简单等理由而 适宜使用。

电容方式的触控面板传感器具有如下结构：在玻璃基板等透明基板 上，两种透明导电膜正交配置，在其表面被覆有保护玻璃等罩(绝缘体)。 若用手指或笔等触碰上述构成的触控面板传感器表面，则两透明导电膜间 的电容发生变化，由此能够通过用传感器感知流经该电容的电流量的变化， 来把握被触碰的部位。

作为用于上述构成的触控面板传感器的透明基板，可以使用触控面 板传感器专用的基板，还可以使用用于显示装置的透明基板。具体来说， 例如可以举出用于液晶显示装置的彩色过滤基板、用于有机EL装置的玻 璃基板等。通过使用这样的显示装置用透明基板，能够应对对于触控面板 传感器要求的特性(例如，显示器的对比度比的提高、亮度的提高、智能 手机等的薄型化等)。

图2中，示出将触控面板传感器用电极搭载于图1所示液晶显示装 置的彩色过滤基板(CF基板)时的示意性截面图。图2中，按照黑色矩阵 (blackmatrix)的图案来配置电极。最近，为了提高来自背光灯的光的 透射率，作为上述图2所示电极，正在研究使用低电阻的金属电极。

然而，金属电极由于反射率高、使用者的肉眼能看到(可视)，因此存 在对比度比降低的问题。因此，在使用金属电极的情况下，采用对金属膜 实施黑色化处理，使反射率降低等的方法。

例如专利文献1中，记载有为了解决将导电性透明电极图案单元相 互连接的桥电极的可视性问题，在形成于导电性图案单元的绝缘层上使 用黑色的导电材料形成电桥电极的方法。具体来说，作为电桥电极，例 示有将Al、Au、Ag、Sn、Cr、Ni、Ti或Mg金属通过与试药的反应而 使其向氧化物、氮化物、氟化物等黑色化的方法。然而，专利文献1中， 只不过公开了通过金属的黑色化处理使电桥电极的反射率降低的技术， 而完全没有留意电阻率的降低。因此，上述例示中，还包含金属的氧化 物那样的高电阻率的物质，而不能应用于低电阻率配线用电极。另外， 上述专利文献1中，还包含像Ag的氮化物、Mg的氧化物等那样反应性 高而危险的物质，而缺乏实用性。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本国日本特开2013-127792号公报

发明内容

发明要解决的问题

本发明鉴于上述情况而完成，其目的在于提供一种电阻率低、且反 射率低的新型电极；及其制造方法，所述电极是以电容方式的触控面板传 感器等为代表的输入装置中使用的电极。

用于解决问题的手段

能够解决上述课题的本发明涉及的电容方式的输入装置中使用的电 极具有如下要点：其是在透明基板上形成的电极，所述电极具有从透明基 板的相反侧(表面侧)开始依次为由透明导电膜构成的第1层、由Mo的氮 化物或Mo合金的氮化物中的至少一种构成的第2层、以及由反射率为 40％以上、透射率为10％以下的金属膜构成的第3层的层叠结构。

本发明的优选实施方式中，所述第3层金属膜由Mo或Mo合金中的 至少一种构成。

本发明的优选实施方式中，在所述第2层与所述第3层之间，还具 有由透明导电膜构成的第4层。

本发明的优选实施方式中，在所述透明基板与所述第3层之间，还 具有由电阻率低于所述第3层的金属膜构成的第5层。

本发明的优选实施方式中，所述第5层的金属膜由选自Al、Al合金、 Cu、Cu合金、Ag、及Ag合金中的至少一种构成。

本发明的优选实施方式中，所述第2层氮化物中含有的氮量在表面 侧与透明基板侧不同。