[发明专利]用于输入装置的电极及其制造方法

权利要求书

1.一种用于输入装置的电极，其特征在于，是在透明基板上形成的 电极，

所述电极在透明基板的一面上具有以远离该面的顺序依次为如下层 的层叠结构：

由透明导电膜构成的第1层、

由Mo的氮化物或Mo合金的氮化物中的至少一种构成的第2层、以 及

由反射率为40％以上、透射率为10％以下的金属膜构成的第3层。

2.如权利要求1所述的电极，其中，所述第3层金属膜由Mo或Mo 合金中的至少一种构成。

3.如权利要求1所述的电极，其中，在所述第2层与所述第3层之 间，还具有由透明导电膜构成的第4层。

4.如权利要求1所述的电极，其中，在所述透明基板与所述第3层 之间，还具有由电阻率低于所述第3层的金属膜构成的第5层。

5.如权利要求4所述的电极，其中，所述第5层的金属膜由选自Al、 Al合金、Cu、Cu合金、Ag、及Ag合金中的至少一种构成。

6.如权利要求1所述的电极，其中，所述第2层氮化物中含有的氮 量在表面侧与透明基板侧不同。

7.如权利要求1所述的电极，其中，所述第1层透明导电膜包含In 或Zn中的至少一种。

8.如权利要求1所述的电极，其中，所述第2层的Mo合金包含Nb、 W、Ti、V、Cr中的至少一种。

9.一种输入装置，其具有权利要求1所述的电极。

10.一种触控面板传感器，其具有权利要求1所述的电极。

11.一种电极的制造方法，其特征在于，是制造权利要求1所述的电 极的方法，

通过使用由Mo或Mo合金构成的靶在氮气气氛中进行反应性溅射的 方法、或者通过使用由Mo氮化物或Mo合金氮化物构成的靶在不含氮的 气体气氛中进行反应性溅射的方法，成膜所述第2层氮化物。