[发明专利]使用多条处理路径进行器件测试的方法和装置

说明书

根据一些方面，本发明提供了一种操作自动测试系统的方法，所述自动测试系统包括多条路径并且用测试模式编程。一种这样的方法包括用具有多条路径的电路执行所述测试模式中的向量，所述执行包括：当处理时，在所述多条路径中的第一条路径中，向量的所述操作部分指定操作，在所述测试模式中所述向量的执行流程中，所述操作能够生成分支到所述测试模式中的非顺序位置，从而从所述非顺序位置发起对所述多条路径中的第二条路径中所述测试模式的处理。一些方面包括用于执行指令的系统，所述系统包括多条构成控制电路的路径，用于从所述多条路径中的可用路径内的存储器的后续位置发起对操作部分的处理。

背景技术

半导体器件制造中的一个重要阶段就是确保器件表现得如设计的那样。被称为“测试”的这个阶段通常使用自动测试设备、或自动分析器件行为的“测试仪”来执行。这种自动测试设备包括复杂的电子器件，该复杂的电子器件能够向一个或多个受试器件(DUT)上的一个或多个点发送测试信号，并测量来自一个或多个DUT上的一个或多个点的测试信号值。

对于许多类型的测试，测试仪需要以对应于DUT操作速度的速度来生成和/或测量测试信号。否则，将存在不向DUT提供刺激的DUT操作循环，该循环可导致DUT的不正确操作。除此之外，可能存在这样的DUT操作循环，其中测试仪不测量DUT处的值，使得测试仪可能无法检测DUT的不正确操作。因此，为了测试现代的高速半导体器件，测试仪必须以非常快的速度生成和测量测试信号。

在高速下控制测试信号操作所面临的挑战由于以下事实而变得复杂：测试仪可能需要执行多个操作来为每个DUT操作循环生成或测量测试信号。对于一些测试，在测试仪中执行以生成或测量测试信号的操作由测试模式限定。在操作中，在测试仪内部被称为“模式发生器”的电路可执行该模式。模式发生器执行测试模式的速度必须允许测试仪以确保每个DUT操作循环均有测试信号的速度来生成和测量测试信号。

对于多个测试仪循环中的每一个，测试模式可指定向DUT上的多个测试点中的每一个发送哪种信号或在DUT上的多个测试点中的每一个处期望测量哪种信号。这些测试仪循环可以与DUT操作循环的速度相同或可以比DUT操作循环快，使得为每个DUT操作循环指定测试仪操作。

测试模式包含向量序列，该序列中的每一者指定通道电路操作，该通道电路操作可生成或测量测试仪的操作的一个循环的测试信号。此外，向量可包含指定待执行的后续向量的信息。在一些情况下，向量中的信息可表明，下一个待执行的向量被存储在正被执行的向量后的位置处的存储器中。这种执行方式被称为顺序的执行方式。然而，在其他情况下，向量中的指定下一个待执行的向量的信息可指定非顺序位置，使得测试模式的执行“分支”。在一些情况下，这些分支可以是条件分支，使得可基于从DUT上观察到的响应或基于测试仪硬件能够识别的其他条件，动态确定执行测试模式中向量的顺序。

条件分支增加快速执行测试模式所面临的挑战性。在传统的微处理器中，可通过流水线结构实现程序指令的快速执行。由于流水线结构，执行指令的电路被分为块，所述块被称为秩。秩由寄存器或其他数据存储部件隔开，使得当完成一个秩内的处理时，可将结果存储在寄存器中直到下一个秩准备好处理该结果。可控制流水线内的电路，使得当流水线中的某一秩处理一个指令的一部分时，前一秩处理下一个顺序指令的一部分。

相比被配置用于执行整个指令的电路，每个秩内的电路能在处理指令的一部分上的速度更快。因此，流水线电路可以比非流水线电路更快的速度处理指令序列。

这种更快处理顺序操作的代价为，在流水线开始执行指令时和该处理结果首先可用时之间具有一定的等待时间。因为流水线中的每个秩在其可发起处理指令之前需要等待前一秩生成输出，所以直到每个秩已经处理了序列中第一指令的操作之前，流水线不产生该指令的输出，使得获得第一结果的时间为所有秩中的处理延迟的总和。之后，流水线电路产生输出的速度可由单个秩中最长处理时间决定。