[发明专利]光电子部件及其制造方法有效
| 申请号: | 201480009843.6 | 申请日: | 2014-01-15 |
| 公开(公告)号: | CN104995754B | 公开(公告)日: | 2018-11-09 |
| 发明(设计)人: | T.瓦尔格赫塞;H-J.卢高尔;T.施瓦茨;S.伊莱克;J.莫斯布尔格 | 申请(专利权)人: | 奥斯兰姆奥普托半导体有限责任公司 |
| 主分类号: | H01L33/48 | 分类号: | H01L33/48;H01L33/54 |
| 代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人: | 张涛;胡莉莉 |
| 地址: | 德国雷*** | 国省代码: | 德国;DE |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 光电子 部件 及其 制造 方法 | ||
1.一种制造光电子部件(10)的方法,包括以下步骤:
-提供具有第一表面(101)的光电子半导体芯片(100);
-将牺牲层(110)沉积在所述第一表面(101)上;
-形成模制体(400),所述光电子半导体芯片(100)被至少部分嵌入在所述模制体(400)中;
-去除所述牺牲层(110),
其中在沉积牺牲层(110)与形成模制体(400)之间将所述光电子半导体芯片(100)从晶片(120)中取出。
2.根据权利要求1所述的方法,
其中在去除所述牺牲层(110)之前,执行下面的步骤:
-部分去除所述模制体(400)以便致使所述牺牲层(110)能接近。
3.根据前述权利要求中的任何一个所述的方法,
所述光电子半导体芯片(100)的所述第一表面(101)被提供用于电池辐射的通道。
4.根据权利要求1至2中的任何一个所述的方法,
其中导电接触引脚(200)与所述光电子半导体芯片(100)一起被嵌入在所述模制体(400)中,所述导电接触引脚(200)具有布置在所述接触引脚(200)上的接触引脚牺牲层(210),
其中所述接触引脚牺牲层(210)与所述牺牲层(110)一起被去除。
5.根据权利要求4所述的方法,
包括下面的进一步步骤:
-在所述光电子半导体芯片(100)的所述第一表面(101)处布置的电接触(103)与所述接触引脚(200)之间建立导电连接(530)。
6.根据权利要求1至2中的任何一个所述的方法,
包括下面的进一步步骤:
-在所述模制体(400)的顶表面(401)上布置光学透镜(600)。
7.根据权利要求1至2中的任何一个所述的方法,
其中所述光电子半导体芯片(100)被嵌入到所述模制体(400)中,使得所述光电子半导体芯片(100)的第二表面(102)与所述模制体(400)的底表面(402)齐平。
8.根据权利要求1至2中的任何一个所述的方法,
其中将多个光电子半导体芯片(100)共同地嵌入到所述模制体(400)中,其中所述模制体(400)被划分以便获得多个光电子部件(10)。
9.根据权利要求1所述的方法,其中在形成所述模制体(400)之前,执行下面的步骤:
-将所述光电子半导体芯片(100)布置在载体(300)上,所述光电子半导体芯片(100)的第二表面(102)被定向成朝着所述载体(300)的上表面(301),
其中在形成所述模制体(400)之后从所述载体(300)去除所述模制体(400)。
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