[实用新型]一种直拉硅单晶炉水冷盘

权利要求书

1.一种直拉硅单晶炉水冷盘，其特征在于，所述水冷盘为中间设有通孔的环状体，包括上端开口的环状底盘和固设于所述底盘上端开口处的环状封板，所述底盘由一体成型的环状底板、环形内侧围板、环形外侧围板以及分布在所述内侧围板和所述外侧围板中间的至少一个环形挡板组成；所述内侧围板和所述外侧围板中间还设置直形挡板，所述底板、所述封板、所述直形挡板以及至少一个所述环形挡板形成一个蛇状水流槽，所述外侧围板上位于所述水流槽的两端分别设置进水孔和出水孔。

2.根据权利要求1所述的水冷盘，其特征在于，所述直形挡板包括第一直形挡板和第二直形挡板，所述第一直形挡板的一端与所述外侧围板连接，所述第一直形挡板的另一端与所述内侧围板之间留有供水流通过的间隙，所述第二直形挡板的两端分别与所述外侧围板和所述内侧围板连接；所述环形挡板均具有用于与所述直形挡板连接的连接端和用于供水流通过的自由端，与所述内侧围板相邻的所述环形挡板的连接端与所述第一直形挡板的另一端连接，任意相邻的两个所述环形挡板的连接端分别连接在所述第一直形挡板和所述第二直形挡板上。

3.根据权利要求2所述的水冷盘，其特征在于，所述第一直形挡板与所述第二直形挡板相互平行，至少一个所述环形挡板在所述外侧围板和所述内侧围板之间均匀分布。

4.根据权利要求3所述的水冷盘，其特征在于，所述进水孔设于所述外侧围板上位于所述第一直形挡板与所述第二直形挡板之间的区域，所述环形挡板为奇数个时， 所述出水孔设于所述外侧围板上位于所述第一直形挡板左侧的区域；所述环形挡板为偶数个时，所述出水孔设于所述外侧围板上位于所述第二直形挡板右侧的区域。