[实用新型]管式PECVD石墨舟装卸片系统用硅片卸料机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种硅片卸料机构，尤其是涉及一种用于管式PECVD中对石墨舟进行自动化高效装卸片系统上的硅片卸料机构，属于太能能光伏生产设备技术领域。

背景技术

目前，在晶体硅太阳能电池生产过程中，需在硅片表面通过PECVD（Plasma EnhancedChemical Vapor Deposition）设备制备一层氮化硅减反射膜，现有的管式PECVD 在长膜工序完成后，需人工拉出石墨舟，从石墨舟中取出硅片装入空花篮中（即硅片卸料过程）；随后空石墨舟再次进入PECVD炉体前，需重新贴装已完成二次清洗的无反射膜硅片（即硅片上料过程）；因石墨舟重、石墨舟电极片夹缝窄，所以常规的人工搬运石墨舟及人工装卸片劳动强度大，生产效率提不上，同时碎片率较高，使得生产成本高；

为此，“中国电子科技集团公司第四十八研究所”于2013年11月22日提出了专利申请号为201310592633.1的“一种用于管式PECVD 的石墨舟自动装卸片系统”，其利用机械方式进行卸料和上料，但是其硅片抓取移载机构采用六轴机械人进行，由于六轴机械人结构复杂，且国内无法自主生产六轴机械人，因此其成本高昂；且六轴机械人长时间使用后容易在空间定位上产生误差，使得在抓取过程中对硅片造成损伤；并且受制于六轴机械人的抓取方式，其一次仅能抓取20片硅片，因此其效率还是无法满足大规模生产的需求；且上述常规系统中所用的花篮节距为4.76mm的标准节距，而石墨舟舟片的间距为13.5mm，因此需要采用专门的倒片机对其节距进行整理，从而进一步影响了生产的效率。

发明内容

本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种定位精确且生产效率高的管式PECVD石墨舟装卸片系统用硅片卸料机构。

本实用新型的目的是这样实现的：

一种管式PECVD石墨舟装卸片系统用硅片卸料机构，所述硅片卸料机构包含有卸料支柱，所述卸料支柱上通过直线导轨竖向滑动连接有卸料底板，所述卸料底板上通过卸料托架安装有翻转电机，所述翻转电机的转轴与卸料花篮相连，所述卸料底板旁设置有卸料平台，该卸料平台上通过直线导轨滑动连接有卸料板，该卸料板的一侧斜向设置有用于安放花篮的卸料仓，另一侧上装有卸料传输带，且卸料传输带位于卸料花篮的下方。

本实用新型一种管式PECVD石墨舟装卸片系统用硅片卸料机构，上述卸料仓内放置的花篮的节距为4.5mm。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型采用直线导轨移动方式替代传动的六轴机械手的全方位旋转，移动准确率更高，抓取精确更高；同时，直线移动效率也更高，并且在导片过程中三组同时进行导片，一次导片即可完成3*20=60片的硅片导片，相比于传统的20片方式，效率大为提高；并且卸料仓内的花篮采用4.5mm的节距取代原先的标准节距，因此面对13.5mm的石墨舟，后续工艺中的操作无需进行倒片机进行节距调整，使得整个系统结构更为简单、工艺更为简洁流畅。

附图说明

图1为本实用新型一种管式PECVD石墨舟装卸片系统用硅片卸料机构的结构示意图。

图2为本实用新型一种管式PECVD石墨舟装卸片系统用硅片卸料机构的侧视图。

其中：

卸料支柱1、卸料底板2、卸料托架3、翻转电机4、卸料花篮5、卸料平台6、卸料板7、卸料传输带8、卸料仓9。

具体实施方式

参见图1和图2，本实用新型涉及的一种管式PECVD石墨舟装卸片系统用硅片卸料机构，所述硅片卸料机构包含有卸料支柱1，所述卸料支柱1上通过直线导轨竖向滑动连接有卸料底板2，所述卸料底板2上通过卸料托架3安装有翻转电机4，所述翻转电机4的转轴与卸料花篮5相连，从而使得翻转电机4能够驱动卸料花篮5旋转90°后至垂直状态；所述卸料底板2旁设置有卸料平台6，该卸料平台6上通过直线导轨滑动连接有卸料板7，该卸料板7的一侧斜向设置有用于安放花篮的卸料仓9，另一侧上装有卸料传输带8，且卸料传输带8位于卸料花篮5的下方，上述卸料仓9内放置的花篮的节距为4.5mm；

上述直线导轨提供直线位移后，利用电机驱动的丝杆对其提供移动动力；