[实用新型]用于工艺腔体阴极的安装装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及集成电路制造技术领域，尤其是一种用于工艺腔体阴极的安装装置。

背景技术

目前集成电路逐渐被应用到很多领域中，比如计算机、通信、工业控制和消费性电子等。集成电路的制造业，已经成为和钢铁一样的基础产业。伴随着电子产品的快速发展，集成电路成为人们研究的焦点，于是使得IC设计、芯片制造等技术格局也得到快速发展。在这种技术方向的引导下，中国对芯片的生产提出很高的要求，进一步减弱了对高科技芯片进口的需求，实际生产中，在半导体制造领域，需要使用静电吸附盘，所述静电吸附盘能达到940V的静电。所述静电吸附盘用于吸附晶圆使其在工艺过程中位置不发生变动，并使晶圆在阴极一方，腔体内轰击出的阳离子带有正电就会向阴极移动，在晶圆表面反应沉积。

所述静电吸附盘为陶瓷材质，安装在工艺腔体阴极的上表面，将工艺腔体阴极装入工艺腔体的安装孔中，工艺腔体阴极与工艺腔体通过插槽安装。然而，在现有技术中，在安装工艺腔体阴极时，工艺腔体阴极的安装过程完全采用人工手动实现，但是由于工艺腔体阴极本身重达60斤，手动安装时工艺腔体阴极容易错位，使得工艺腔体阴极容易被卡住。卡住之后只能敲出来没有别的办法，对工艺腔体阴极内的零件会产生较强的振动，有可能造成工艺腔体阴极本身报废。更进一步，由于静电吸附盘的单价非常昂贵，高达10000美金，在安装失败过程中的磕碰中很容易造成静电吸附盘的报废。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种用于工艺腔体阴极的安装装置，以解决工艺腔体阴极在安装过程中极易卡住的问题。

为了达到上述目的，本实用新型提供了，包括：夹持机构及支架体，所述支架体上设置有一第一导轨；所述夹持机构包括：

夹持主体，所述夹持主体包括一立柱、一横板垂直连接于所述立柱的一端、一定位板垂直连接于所述立柱的另一端；

校准装置，所述校准装置可拆卸式连接于所述定位板；

钳口夹板，所述钳口夹板与所述立柱垂直，位于所述横板与所述定位板之间，所述钳口夹板的上表面设置有第一丝杠套，与所述第一丝杠套配套的第一丝杠穿过所述横板；

第一底板，所述第一底板位于所述夹持主体的下方，并与所述定位板所在平面平行，所述第一底板的上表面设置有第二丝杠套，与所述第二丝杠套配套的第二丝杠与所述立柱连接，所述第一底板的下表面设置有一与所述第一导轨相匹配的第一导轨槽。

优选的，在上述的用于工艺腔体阴极的安装装置中，所述校准装置包括支架与校准板，所述支架的一端可拆卸式连接于所述定位板，所述校准板垂直固定于所述支架的另一端上。

优选的，在上述的用于工艺腔体阴极的安装装置中，所述校准板上设置有多个垂直于所述校准板所在平面的凸起，所述多个凸起均匀分布在所述校准板的四周。

优选的，在上述的用于工艺腔体阴极的安装装置中，所述多个凸起的个数为4～8个。

优选的，在上述的用于工艺腔体阴极的安装装置中，所述钳口夹板面向所述立柱的一面上设置有第二导轨槽，所述立柱近所述钳口夹板的一面上设置有竖直方向的第二导轨，所述第二导轨槽在所述第二导轨上滑动。

优选的，在上述的用于工艺腔体阴极的安装装置中，所述第一丝杠的一端固定于所述第一丝杠套内，所述第一丝杠的另一端上设置有第一丝杠手柄。

优选的，在上述的用于工艺腔体阴极的安装装置中，所述第二丝杠的一端固定于所述第二丝杠套内，所述第二丝杠的另一端上设置有第二丝杠手柄。

优选的，在上述的用于工艺腔体阴极的安装装置中，所述支架体还包括：支撑板；支撑架，所述支撑架固定于所述支撑板上表面；转向圆柱，所述转向圆柱的一端连接于所述支撑板，另一端连接于一铁板；所述铁板放置于所述支撑架上；第二底板，所述第二底板固定于所述铁板的上表面，所述第二底板的上表面设置有所述第一导轨。

优选的，在上述的用于工艺腔体阴极的安装装置中，所述转向圆柱中设置有转轴，所述转向圆柱连接所述铁板的一端随着所述转轴转动。

优选的，在上述的用于工艺腔体阴极的安装装置中，所述转轴转动的角度在0°～360°之间。

优选的，在上述的用于工艺腔体阴极的安装装置中，所述支撑板的底端设置有车轮。

优选的，在上述的用于工艺腔体阴极的安装装置中，所述立柱的一侧固定有一第三丝杠套，所述第二丝杠穿过所述第三丝杠套。