[实用新型]用于工艺腔体阴极的安装装置

权利要求书

1.一种用于工艺腔体阴极的安装装置，其特征在于，包括：夹持机构及支架体，所述支架体上设置有一第一导轨；所述夹持机构包括：

夹持主体，所述夹持主体包括一立柱、一垂直连接于所述立柱的一端的横板、一垂直连接于所述立柱的另一端的定位板；

校准装置，所述校准装置可拆卸式连接于所述定位板；

钳口夹板，所述钳口夹板与所述立柱相垂直，并位于所述横板与所述定位板之间，所述钳口夹板的上表面设置有第一丝杠套，与所述第一丝杠套配套的第一丝杠穿过所述横板；

第一底板，所述第一底板位于所述夹持主体的下方，并与所述定位板所在平面平行，所述第一底板的上表面设置有第二丝杠套，与所述第二丝杠套配套的第二丝杠与所述立柱连接，所述第一底板的下表面设置有一与所述第一导轨相匹配的第一导轨槽。

2.如权利要求1所述的用于工艺腔体阴极的安装装置，其特征在于，所述校准装置包括一支架与一校准板，所述支架的一端可拆卸式连接于所述定位板，所述校准板垂直固定于所述支架的另一端上。

3.如权利要求2所述的用于工艺腔体阴极的安装装置，其特征在于，所述校准板上设置有多个垂直于所述校准板所在平面的凸起，所述多个凸起均匀分布在所述校准板的四周。

4.如权利要求3所述的用于工艺腔体阴极的安装装置，其特征在于，所述多个凸起的个数为4～8个。

5.如权利要求1所述的用于工艺腔体阴极的安装装置，其特征在于，所述钳口夹板面向所述立柱的一面上设置有第二导轨槽，所述立柱近所述钳口夹板的一面上设置有竖直方向的第二导轨，所述第二导轨槽在所述第二导轨上滑动。

6.如权利要求1所述的用于工艺腔体阴极的安装装置，其特征在于，所述第一丝杠的一端固定于所述第一丝杠套内，所述第一丝杠的另一端上设置有第一丝杠手柄。

7.如权利要求1所述的用于工艺腔体阴极的安装装置，其特征在于，所述第二丝杠的一端固定于所述第二丝杠套内，所述第二丝杠的另一端上设置有第二丝杠手柄。

8.如权利要求1所述的用于工艺腔体阴极的安装装置，其特征在于，所述支架体还包括：支撑板；支撑架，所述支撑架固定于所述支撑板上表面；转向圆柱，所述转向圆柱的一端连接于所述支撑板，另一端连接于一铁板；所述铁板放置于所述支撑架上；第二底板，所述第二底板固定于所述铁板的上表面，所述第二底板的上表面设置有所述第一导轨。

9.如权利要求8所述的用于工艺腔体阴极的安装装置，其特征在于，所述转向圆柱中设置有转轴，所述转向圆柱连接所述铁板的一端随着所述转轴转动。

10.如权利要求9所述的用于工艺腔体阴极的安装装置，其特征在于，所述转轴转动的角度在0°～360°之间。

11.如权利要求8所述的用于工艺腔体阴极的安装装置，其特征在于，所述支撑板的底端设置有车轮。

12.如权利要求1所述的用于工艺腔体阴极的安装装置，其特征在于，所述立柱的一侧固定有一第三丝杠套，所述第二丝杠穿过所述第三丝杠套。