[实用新型]DLC膜沉积装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及金属镀膜领域，尤其涉及一种DLC膜沉积装置。

背景技术

类金刚石膜的低摩擦系数、耐磨性、化学惰性、生物相溶性等这些特点使其在金属管内壁改性方面具有广泛的工业应用前景。例如：抽油泵泵筒、输油管道、汽车汽缸套，以及在军事领域尤其是枪炮管、鱼雷发射管等。由于外部等离子体鞘层的影响无法将等离子体送入细长金属管内，如何在金属管内形成均匀、高密度的等离子体并实现金属管内表面改性是目前的一个技术难题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种DLC膜沉积装置，所述装置包括真空系统、作为阴极的待沉积的不锈钢管、作为阳极的位于不锈钢管中心轴上的钨丝、用于包裹所述不锈钢管和钨丝的绝缘膜、电源，其中，所述真空系统上开设有气体注入口、气体排泄口、测量口以及监视窗。

所述真空系统中充有20Pa的甲烷和氩气。

所述真空系统中甲烷的含量为40％。

所述阳极与电源连接，并通过电阻接地。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例或现有技术中的方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作一简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员而言，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型一实施例提供的DLC膜沉积装置的结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

图1为本实用新型一实施例提供的DLC膜沉积装置的结构示意图，如图1所示，本实施例的一种DLC膜沉积装置，将待镀膜的内径为10mm，外径为13mm，长100mm的不锈钢管2作为阴极放置于真空系统1中，在阴极的中心轴位置拉一根钨丝作为阳极，为防止电极与真空室室壁之间的放电，整个电极用绝缘材料4包裹后放入真空系统中。通过气体注入口5通入甲烷和氩气混合气体到20Pa(其中，甲烷含量为40％)，通过直流辉光放电在不锈钢管内产生等离子体，阳离子向阴极移动，沉积在不锈钢管上形成DLC膜。装置还包括气体排泄口6、监视窗7、测量口8，其中，所述气体排泄口6用于在沉积完成后将气体排出；所述监视窗7用于对真空系统进行监视；所述测量口8用于对注入的气体压力进行测量。

最后应说明的是：以上实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的精神和范围。