[实用新型]一种二维自标定标记点检测对准系统

权利要求书

1.一种二维自标定标记点检测对准系统，其特征在于：包括零位信号读取仪(1)、光栅尺辅助标定板(3)、读数头检测部分(4)和测量基准架(5)；

所述光栅尺辅助标定板(3)设有X方向槽道(33)、Y方向槽道(34)、标有零位标记点的X方向光栅尺(31)和标有零位标记点的Y方向光栅尺(32)；标有零位标记点的X方向光栅尺(31)和标有零位标记点的Y方向光栅尺(32)分别安装在X方向槽道(33)和Y方向槽道(34)内；同向槽道间相互平行且间距相等；所述读数头检测部分(4)包括X方向第一光栅尺读数头(41)和Y方向第一光栅尺读数头(43)；所述零位信号读取仪(1)与二维工作台(2)通过信号线相互连接；

所述光栅尺辅助标定板(3)放置于二维工作台(2)上，标定板的三个角分别由第一限位块(37)，第二限位块(38)，第三限位块(39)固定于二维工作台(2)上，标定板第四个角的两边分别由安装在二维工作台(2)上的第一基准条(35)和第二基准条(36)固定；

所述读数头检测部分(4)的X方向第一光栅尺读数头(41)通过第一安装支架(42)安装在测量基准架(5)X方向一侧的面上；Y方向第一光栅尺读数头(43)通过第二安装支架(44)安装在测量基准架(5)Y方向一侧的面上；所述测量基准架(5)安装在二维工作台(2)的龙门架上。

2.根据权利要求1所述的一种二维自标定标记点检测对准系统，其特征在于：所述的读数头检测部分(4)还包括X方向第二光栅尺读数头(45)和Y方向第二光栅尺读数头(47)；其中X方向第二光栅尺读数头(45)通过第三安装支架(46)安装在测量基准架(5)X方向另一侧的面上；Y方向第二光栅尺读数头(47)通过第四安装支架(48)安装在测量基准架(5)Y方向另一侧的面上。

3.根据权利要求1或2所述的一种二维自标定标记点检测对准系统，其特征在于：所述的零位信号读取仪(1)为基于FPGA的高速多路光栅信号处理系统。

4.根据权利要求1或2所述的一种二维自标定标记点检测对准系统，其特征在于：所述的光栅尺辅助标定板(3)的X方向槽道(33)长度为50mm—150mm，宽度为5mm—10mm，深度为0.3-0.8mm；Y方向槽道(34)长度为50mm—150mm，宽度为5mm—10mm，深度为0-0.5mm；X方向与Y方向槽道形成深度为0.2mm—0.4mm的高度差。

5.根据权利要求1或2所述的一种二维自标定标记点检测对准系统，其特征在于：所述的标有零位标记点的X方向光栅尺(31)和标有零位标记点的Y方向光栅尺(32)均采用厚度为0.2mm—0.5mm的一维反射型光栅，分辨率为1.25nm。

6.根据权利要求1所述的一种二维自标定标记点检测对准系统，其特征在于：所述的第一安装支架(42)和第二安装支架(44)均为L型结构,由合金铝材料加工制成。

7.根据权利要求2所述的一种二维自标定标记点检测对准系统，其特征在于：所述的第三安装支架(46)和第四安装支架(48)均为L型结构,由合金铝材料加工制成。

8.根据权利要求1或2所述的一种二维自标定标记点检测对准系统，其特征在于：所述的测量基准架(5)的外形为长方体结构，在该测量基准架的上部设有多排用于调节自身高度和水平位置的安装调节孔。