[实用新型]拨扣装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及拨扣工具技术领域，特别是涉及一种拨扣装置。

背景技术

随着半导体器件制造自动化进程的加快，越来越多的半导体制造机台被应用到半导体工艺的制程中。

各机台在正常工作的时候，首先将晶圆传送到腔体(chamber)内，然后在腔体内进行相应的工艺，工艺完成后，从腔体中传出晶圆。但是，一旦机台出现异常情况而当机，晶圆会停留在腔体中，无法自动传出腔体，需要设备工程师手动地打开腔体，取出晶圆。该手动地方法存在很大地风险，在取晶圆的过程中容易造成晶圆的破损。

以湿法刻蚀工艺中用到的刻蚀机台为例，其腔体包括第一部分(业界统称为up-rotor，上转盘)和第二部分(业界统称为low-rotor，下转盘)。当进行工艺时，晶圆会放在第一部分和第二部分之间，第一部分和第二部分密封闭合。当机台当机时，第一部分和第二部分仍处于闭合状态，需要手动地将第一部分和第二部分进行分离，从而取出晶圆。

具体如图1所示，第二部分上有8个扣针(pin)11，8个扣针卡11扣在弹性的O型圈(latch O-ring)12内，从而将第二部分扣合在第一部分上。手动将第一部分和第二部分进行分离时，需要至少两名工程师同时扣住8个扣针11，使8个扣针卡11与O型圈(latch O-ring)解扣，从而使第二部分与第一部分相分离，取出晶圆。然而，一名工程师无法手动扣住8个扣针11，并且，手动操作很容易失误，会造成破片等问题。

实用新型内容

本实用新型的目的在于，提供一种拨扣装置，能够方便的将机台等设备进行解扣合，节约人力，提高操作的可靠性。

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种拨扣装置，包括:

用于固定所述拨扣装置的固定部;

可相对所述固定部运动的拉动部，所述拉动部与所述固定部滑动连接;

多个拨扣爪，每一所述拨扣爪的一端与所述拉动部连接，所述拨扣爪的另一端设置有爪头。

可选的，所述拨扣装置还包括吸盘，所述吸盘连接所述固定部的一端。

可选的，所述拨扣装置还包括泄压阀，所述泄压阀包括压力腔、阀芯组件、泄压轴、用于所述阀芯组件复位的复位装置以及泄压口，所述阀芯组件和所述复位装置分别设置于所述压力腔内，所述压力腔的一端与所述吸盘连通，所述泄压轴的一端与所述阀芯组件相连，所述泄压轴的另一端从所述压力腔的另一端伸出，所述泄压口与所述压力腔相连通。

可选的，所述泄压轴还包括按压部，所述按压部位于所述压力腔外，所述拉动部还包括用于按压所述按压部的挡片。

可选的，所述压力腔位于所述固定部内。

可选的，所述拉动部为棒状，所述固定部为环状，所述固定部嵌套在所述拉动部外。

可选的，所述拉动部还包括拨扣爪固定部，所述拨扣爪的一端通过所述拨扣爪固定部与所述拉动部连接。

可选的，所述拉动部包括一拉动长度调节部。

可选的，所述拨扣装置还包括多个连动元件，每一所述连动元件对应一个所述拨扣爪;

所述固定部上具有多个第一连接区，每一所述连动元件的一端连接一个所述第一连接区;

每一所述拨扣爪具有一第二连接区，所述连动元件的另一端连接所述第二连接区。

可选的，所述第一连接区为多个选择连接点，所述第二连接区为滑动连接机构;或所述第二连接区为多个选择连接点，所述第一连接区为滑动连接机构。

可选的，所述连动元件包括一连动长度调节部。

与现有技术相比，本实用新型提供的拨扣装置具有以下优点:

在本实用新型提供的拨扣装置中，该拨扣装置包括固定部、拉动部以及多个拨扣爪，所述固定部用于将所述拨扣装置与机台等设备进行固定，所述拉动部可相对所述固定部滑动，每一所述拨扣爪的一端与所述拉动部连接，所述拨扣爪的另一端设置有爪头，与现有技术相比，该拨扣装置在使用时，将所述固定部与机台等设备进行固定，拉动所述拉动部，所述拉动部带动所述拨扣爪的一端运动，使得所述爪头相对机台等设备运动，触动所述设备上的扣针等锁扣元件，将所述锁扣元件解扣，仅需一名工程师操作即可完成解扣节约人力，并提高操作的可靠性。

另外，所述拨扣装置还包括吸盘，所述吸盘连接所述固定部的一端，通过所述吸盘将所述固定部固定在所述设备上，提高操作地稳定性。

附图说明

图1为现有技术中腔体扣合结构的示意图；

图2为本实用新型第一实施例中拨扣装置的结构示意图；