[实用新型]硅片夹放置架有效
申请号: | 201420221718.9 | 申请日: | 2014-04-30 |
公开(公告)号: | CN203941887U | 公开(公告)日: | 2014-11-12 |
发明(设计)人: | 彭宇 | 申请(专利权)人: | 江苏爱多光伏科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/687 |
代理公司: | 江阴大田知识产权代理事务所(普通合伙) 32247 | 代理人: | 杜兴 |
地址: | 214400 江苏省无锡*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅片 放置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种硅片夹放置架。
背景技术
硅片在进行清洗、烘干等加工工艺过程中,需要通过硅片夹将其夹住,继而可以多片进行加工,然而在将硅片装入硅片夹的同时需要通过放置架对其进行辅助,目前放置架都是倾斜固定设置于操作平台上,即其倾斜角度不可调,继而操作不方便。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的缺陷,提供一种调节方便的硅片夹放置架。
为实现上述目的,本实用新型的技术方案是提供了一种硅片夹放置架,包括底架、倾斜设置的底板、与所述的底板相垂直设置的两侧的侧挡板,两侧的所述的侧挡板呈V型设置,所述的底板与所述的底架相铰接,所述的侧挡板与所述的底架之间设置有沿着上下方向伸缩的伸缩架。
作为优选地,两侧的所述的侧挡板的内侧具有垫板。
作为优选地,所述的侧挡板的上侧固定设置有操作把手。
作为优选地,所述的操作把手呈U型。
本实用新型的优点和有益效果在于:通过将底板与底架相铰接,继而可以通过调节伸缩架的长度调节放置架的倾斜角度,使用方便。
附图说明
图1为本实用新型的示意图。
其中:1、底架;2、底板;3、侧挡板;4、伸缩架;5、垫板;6、操作把手。
具体实施方式
下面结合附图和实施例,对本实用新型的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案,而不能以此来限制本实用新型的保护范围。
如图1所示,一种硅片夹放置架,包括底架1、倾斜设置的底板2、与所述的底板2相垂直设置的两侧的侧挡板3,两侧的所述的侧挡板3呈V型设置,所述的底板2与所述的底架1相铰接,所述的侧挡板3与所述的底架1之间设置有沿着上下方向伸缩的伸缩架4,两侧的所述的侧挡板3的内侧具有垫板5,所述的侧挡板3的上侧固定设置有操作把手6,所述的操作把手6呈U型。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型技术原理的前提下,还可以做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造