[实用新型]一种可调节压力的硅片对准器

权利要求书

1.一种可调节压力的硅片对准器，包括依次连接的吸盘、真空管和真空泵，所述吸盘的内侧面用于吸附硅片，吸盘的外侧面连接真空管，其特征在于，还包括依次连接的压力检测装置、控制器及调压装置；所述压力检测装置安装在真空管与真空泵的接头处，用于检测所述真空管内的压力值并反馈至所述控制器，所述调压装置安装在真空管上，用于调整所述吸盘吸附硅片的压力值，所述控制器根据所述压力检测装置检测的压力值控制所述调压装置的开关。

2.根据权利要求1所述的可调节压力的硅片对准器，其特征在于，所述吸盘的内侧面设有多圈凸环。

3.根据权利要求2所述的可调节压力的硅片对准器，其特征在于，所述吸盘为橡胶吸盘。

4.根据权利要求1所述的可调节压力的硅片对准器，其特征在于，所述吸盘安装在对准器平台上。

5.根据权利要求4所述的可调节压力的硅片对准器，其特征在于，所述吸盘相对于所述对准器平台可旋转。

6.根据权利要求4所述的可调节压力的硅片对准器，其特征在于，所述对准器平台上设有多个用于夹持硅片的夹持件。

7.根据权利要求4所述的可调节压力的硅片对准器，其特征在于，所述对准器平台上设有用于寻找硅片缺口的对准器。