[实用新型]一种相变存储器加热电极及相变存储器

说明书

技术领域

本申请属于半导体制造技术领域，特别是涉及一种相变存储器加热电极以及应用该加热电极的相变存储器。 

背景技术

相变存储器（phase-change memory，PCM）以其优异的特性，包括快速读写速度、优异的尺寸缩放性能、多位元存储能力、抗辐射、制造成本低等，被认为是取代FLASH、SRAM及DRAM等常规存储器的下一代主流存储器。随着技术的发展，人们设计与制备出了多种PCM单元结构，如经典的“蘑菇型”结构、侧墙结构、边缘接触结构、μ-Trench结构等，旨在减小电极与材料接触面积、降低读写操作电流以提高存储器工作性能。 

目前降低读写操作电流是PCM面向应用进程中亟需解决的关键问题之一。当前主流的T-shape结构只能通过采用更先进的光刻工艺来获得更小的接触尺寸，这一结构在未来更进一步的发展中会大幅度地增加工艺成本。 

实用新型内容

本实用新型就是针对如何避免微纳加工技术和降低制造成本，实现减小相变存储器纳米加热电极实际面积而提出的一种简单、实用的新方法。 

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案： 

本申请实施例公开一种相变存储器加热电极，所述加热电极为锥体形状。

优选的，在上述的相变存储器加热电极中，所述锥体顶端的直径为7~8nm；所述加热电极的高度为5~10nm。 

优选的，在上述的相变存储器加热电极中，所述加热电极的材质选自W或TiW。 

相应地，本申请还公开了一种相变存储器，包括： 

衬底；

纳米锥模板，形成于所述衬底上，所述纳米锥模板包括至少一个锥体；

金属薄膜，覆盖于所述纳米锥模板上，位于所述每个锥体表面的金属薄膜构成一加热电极；

绝缘介质层，形成于所述金属薄膜上，定义所述加热电极的顶端为接触端，该接触端曝露在所述绝缘介质层的上方；

相变材料层，与所述加热电极的接触端接触。

优选的，在上述的相变存储器中，所述加热电极的接触端埋入在所述相变材料层下方。 

优选的，在上述的相变存储器中，所述纳米锥模板的材质为InGaN。 

优选的，在上述的相变存储器中，所述锥体的高度为500~1000nm，顶端的直径为7~8nm，底部的直径为300~400nm。 

优选的，在上述的相变存储器中，所述金属薄膜的材质选自W或TiW；所述绝缘介质层的材质选自SiO₂或SiN_x，其中x为正整数；所述相变材料层的材质选自Ge₂Sb₂Te₅、N掺杂Ge₂Sb₂Te₅、O掺杂Ge₂Sb₂Te₅、Ge₁Sb₂Te₄。 

优选的，在上述的相变存储器中，所述接触端的高度为5~10nm。 

优选的，在上述的相变存储器中，所述绝缘介质层的上表面位于同一水平面上。 

与现有技术相比，本实用新型的优点在于： 

本实用新型提供一种相变存储器纳米阵列加热电极，具体地说是通过以纳米锥阵列为模板制备纳米阵列加热电极，从而减小加热电极的实际有效面积，减小加热电极与相变材料的接触面积，提高加热电流密度。从而就避免了直接制备纳米加热电极(100 nm以下)的困难，降低制造成本，更重要的是降低了相变存储器的功耗。

附图说明

为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。 

图1所示为本实用新型具体实施例中相变存储器的结构示意图。 

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行详细的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。 

参图1所述，相变存储器包括衬底1以及依次形成于衬底1上的纳米锥模板2、金属薄膜3、绝缘介质层4和相变材料层5。