[实用新型]芯片键合设备的芯片无法吸起报警装置

权利要求书

1.一种芯片键合设备的芯片无法吸起报警装置，其特征在于，包括真空传感器、真空过滤器以及芯片吸起判断电路；

所述真空传感器设于焊头支架上，用于感应焊头的吸嘴的真空度，在感应到真空状态和感应到非真空状态时，分别输出高电平和低电平；

所述真空过滤器用于防止空气中的颗粒进入真空传感器内；

所述芯片吸起判断电路与所述真空传感器和芯片键合设备电性连接，用于在所述焊头向芯片移动准备吸起芯片时判断真空传感器感应到的状态，若为真空状态则报警并向所述芯片键合设备发送停止工作信号；还用于在所述焊头往粘片方向移动时判断真空传感器感应到的状态，若为非真空状态则报警并向所述芯片键合设备发送停止工作信号。

2.根据权利要求1所述的芯片键合设备的芯片无法吸起报警装置，其特征在于，所述芯片吸起判断电路包括电源输入单元、吹气信号拾取单元、顶针顶起信号拾取单元、停止工作信号发送单元及与这些单元全部电性连接的单片机；所述电源输入单元用于为所述芯片吸起判断电路供电，所述吹气信号拾取单元用于拾取所述芯片键合设备的吹气信号，所述顶针顶起信号拾取单元用于拾取芯片键合设备的顶针的顶起信号；

所述单片机与所述真空传感器电性连接，用于在拾取到吹气信号和顶起信号后根据真空传感器输出的电平判断感应到的状态，若为真空状态则报警并向所述芯片键合设备发送停止工作信号；所述单片机还用于在拾取到吹气信号和顶起信号后进行延时，延时结束后根据真空传感器输出的电平判断感应到的状态，若为非真空状态则报警并向所述芯片键合设备发送停止工作信号。

3.根据权利要求2所述的芯片键合设备的芯片无法吸起报警装置，其特征在于，所述芯片吸起判断电路还包括多个光电耦合器，用于将所述芯片吸起判断电路与芯片键合设备的电路进行信号隔离，所述吹气信号拾取单元、顶针顶起信号拾取单元及停止工作信号发送单元均包括一光电耦合器。