[发明专利]双面电池的制作方法

权利要求书

1.一种双面电池的制作方法，其特征在于，其包括以下步骤：

S1：在硅衬底的正面生长氧化铝；

S2：将硼离子注入至氧化铝中，将V族离子注入至该硅衬底的背面；

S3：对步骤S2得到的结构进行退火处理，同时该氧化铝中的硼离子进 入该硅衬底的正面中形成P型掺杂层。

2.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，步骤S3之后还包括：

S4：在该硅衬底的正面和背面形成氮化硅层；

S5：在正面和背面的氮化硅层上丝网印刷栅状电极并烧结以形成正面电 极和背面电极。

3.如权利要求2所述的制作方法，其特征在于，步骤S4和S5之间还 包括：

SP：采用激光消融的方式去除该硅衬底正面预定区域的氮化硅层、氧化 铝并使得该预定区域的氧化铝中的硼离子进入该P型掺杂层中形成P型重掺 杂区域；

步骤S5中正面电极形成于与该P型重掺杂区域相对应的位置。

4.如权利要求1所述的制作方法，其特征在于，该硅衬底为N型掺杂 的硅衬底。