[发明专利]一种减少相位测量轮廓术中多路径效应影响的方法有效

专利信息
申请号: 201410507715.6 申请日: 2014-09-29
公开(公告)号: CN104215201A 公开(公告)日: 2014-12-17
发明(设计)人: 刘凯;杨洋;郑晓军;吴炜;杨晓敏 申请(专利权)人: 四川大学
主分类号: G01B11/25 分类号: G01B11/25
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 610065 四川*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 减少 相位 测量 轮廓 术中多 路径 效应 影响 方法
【权利要求书】:

1.一种减少相位测量轮廓术中多路径效应影响的方法,其特征在于首先对得到的亮度调制参数进行差异计算,其次根据亮度调制的差异情况对求得的相位进行区域筛选,滤除受到多路径效应影响强烈的区域,然后根据周围像素点的相位值估算滤除区域的相位情况,再由估算后得到的相位进行三维重建。

2.按照权利要求1所述的方法,其特征在于所说的亮度调制参数的差异计算,主要是指对初步得到的亮度调制参数矩阵用其后一行的值减去前一行的值,即进行前向差分操作,所得到的差值构成一个新矩阵。

3. 按照权利要求1所述的方法,其特征在于所说的区域筛选和区域的滤除是指在颜色变化明显的边缘部分其亮度调制参数变化大,差异计算后得到的差值也较大,而在颜色变化平缓的部分得到的差值很小,所以利用差值的大小可以确定会受到多路径效应影响大的区域,对差值设置阈值范围就可以滤除受影响大的区域。

4.按照权利要求1所述的方法,其特征在于所说的相位值估算是指找到滤除部分的像素点所在矩阵列的前一个有效像素点和后一个有效像素点以线性关系估算其相位值,即线性插值,由此完成对滤除部分的相位值估算。

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