[发明专利]一种防止晶圆背面污染的机构

权利要求书

1.一种防止晶圆背面污染的机构，其特征在于：包括吸盘(1)、扇板(2)、旋转电机(4)、背喷装置(6)、背喷架(7)、背喷盘(8)及安装板(10)，其中背喷盘(8)安装在所述安装板(10)上，所述吸盘(1)位于该背喷盘(8)的上方，并与安装在安装板(10)上的旋转电机(4)相连，由所述旋转电机(4)驱动旋转，所述吸盘(1)的上表面吸附晶圆、下表面沿圆周方向均匀分布有多个扇板(2)；所述背喷盘(8)上设有背喷架(7)，所述背喷装置(6)可移动地安装在背喷架(7)上、对所述晶圆背面边缘进行冲洗，所述扇板(2)随吸盘(1)旋转，形成阻挡液体流至晶圆背面的风流。

2.按权利要求1所述防止晶圆背面污染的机构，其特征在于：所述吸盘(1)的下表面沿圆周方向均布有多个第一凹槽(11)，每个第一凹槽(11)内均容置有扇板(2)。

3.按权利要求2所述防止晶圆背面污染的机构，其特征在于：每个所述扇板(2)的上部均容置于一个第一凹槽(11)内，下部的内侧均设有第二凹槽(12)，各所述扇板(2)上的第二凹槽(12)内套设有弹性固定环(3)。

4.按权利要求1、2或3所述防止晶圆背面污染的机构，其特征在于：所述背喷盘(8)为圆盘，通过背喷盘支柱(9)固定在所述安装板(10)上。

5.按权利要求4所述防止晶圆背面污染的机构，其特征在于：所述背喷架(7)为多个，沿背喷盘(8)的圆周方向均布，每个所述背喷架(7)上均安装有沿背喷盘(8)径向往复移动的背喷装置(6)。

6.按权利要求1、2或3所述防止晶圆背面污染的机构，其特征在于：所述旋转电机(4)通过电机安装板(5)固定在安装板(10)上，所述吸盘(1)下表面的吸盘轴由背喷盘(8)中间开设的通孔穿过、与所述旋转电机(4)的输出轴相连。

7.按权利要求1、2或3所述防止晶圆背面污染的机构，其特征在于：所述吸盘(1)与背喷盘(8)的轴向中心线共线。