[发明专利]一种湿法清洗装置

权利要求书

1.一种湿法清洗装置，其特征在于，所述湿法清洗装置，包括：

承载平台，旋转设计，并用于承载待清洗之晶圆；

喷嘴，用于喷射清洗溶剂，并与所述待清洗之晶圆呈面向设置；

支撑架，固定设置在所述承载平台之一侧的上方；

吸雾装置，设置在所述支撑架上，并通过气体管路与抽气装置连通，用 于吸收且排出所述喷嘴产生的酸雾。

2.如权利要求1所述的湿法清洗装置，其特征在于，所述吸雾装置呈圆 台设计，且所述吸雾装置与所述气体管路连接的一端较所述吸雾装置面向所 述待清洗晶圆之一端的底面积小。

3.如权利要求1所述的湿法清洗装置，其特征在于，所述吸雾装置的角 度和位置依据所述喷嘴处之清洗药液和流量的大小进行设定。

4.如权利要求1所述的湿法清洗装置，其特征在于，所述支撑架为环形 设计，所述吸雾装置可沿着所述环形设计的支撑架移动，并进行角度调整。