[发明专利]激光划片机

权利要求书

1.激光划片机，其特征在于：包括划片机本体、容置于所述划片机本体内的控制组件、装设于所述划片机本体上的切割定位组件、装设于所述划片机本体上并与所述切割定位组件相互配合的激光切割机构，所述激光切割机构包括装设于所述划片机本体上的激光发生器、装设于所述激光发生器上用于将激光发生器发出的激光进行传送的光路结构、装设于所述光路结构上用于对晶圆进行切割的切割结构，所述光路结构包括至少一个用于将激光进行扩束的扩束镜、若干对激光进行反射传递的反射镜。

2.根据权利要求1所述的激光划片机，其特征在于：所述切割定位组件包括装设于所述激光切割机构上用于对所述晶圆片的切割位置进行检测的CCD检测结构、装设于所述划片机本体上的与所述CCD检测结构相互配合的线性运动机构。

3.根据权利要求1所述的激光划片机，其特征在于：所述激光划片机还包括对所述激光切割机构进行冷却的冷却装置。

4.根据权利要求2所述的激光划片机，其特征在于：所述线性运动机构包括装设于所述划片机本体上的X轴移动结构、装设于所述X轴移动结构上的Y轴移动结构、装设于所述Y轴移动结构上的用于将所述待切割晶圆片进行吸平的真空陶瓷吸盘，所述X轴移动结构包括第一丝杆、第一丝杆座及用于驱动所述第一丝杆转动的第一驱动电机，所述Y轴移动结构包括第二丝杆、第二丝杆座及用于驱动所述第二丝杆转动的第二驱动电机，所述真空陶瓷吸盘可做圆周转动，所述控制组件与所述第一驱动电机及第二驱动电机电性连接。

5.根据权利要求2所述的激光划片机，其特征在于：所述CCD检测结构包括装设于所述激光切割机构上的第一CCD摄像头、第二CCD摄像头，装设于所述第一CCD摄像头上的用于使CCD摄像头拍出的晶圆切割点更加清晰的第一光源，装设于所述第二CCD摄像头上的用于使CCD摄像头拍出的晶圆切割点更加清晰的第二光源。

6.根据权利要求1所述的激光划片机，其特征在于：所述光路结构包括第一反射镜、第二反射镜、扩束镜，所述光路结构内部的各部件的装配顺序是：所述扩束镜装设于所述激光发生器前面，所述第一反射镜装设于所述扩束镜面前面，所述第二反射镜装设于所述第一反射镜前面。

7.根据权利要求1所述的激光划片机，其特征在于：所述切割结构包括装设于所述光路结构上的Z轴移动结构及装设于所述Z轴移动结构上的激光头，所述Z轴移动结构包括第三丝杆、第三丝杆座及用于驱动所述第三丝杆转动的第三驱动电机，所述控制组件与所述第三驱动电机电性连接。

8.根据权利要求1所述的激光划片机，其特征在于：所述控制组件包括：显示模块，用于将所述的激光划片机的性能参数通过界面显示；和/或按键模块，用于操纵所述激光划片机进行工作。