[发明专利]一种高温加速度传感器在审
| 申请号： | 201410403085.8 | 申请日： | 2014-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN105334348A | 公开（公告）日： | 2016-02-17 |
| 发明（设计）人： | 林全明;郑燕青;涂小牛;孔海宽;熊开南;李亚乔;施尔畏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所;上海硅酸盐研究所中试基地 |
| 主分类号： | G01P15/09 | 分类号： | G01P15/09 |
| 代理公司： | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人： | 曹芳玲;郑优丽 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高温 加速度 传感器 | ||
【权利要求书】：
1.一种高温加速度传感器，其特征在于，所述高温加速度传感器以结构有序型压电晶体Sr3NbGa3Si2O14、Sr3TaGa3Si2O14、Ca3NbGa3Si2O14和/或Ca3TaGa3Si2O14作为敏感元件。
2.根据权利要求1所述的高温加速度传感器，其特征在于，所述构成敏感元件的材料属于三方晶系，空间群P321，点群32。
3.根据权利要求1或2所述的高温加速传感器，其特征在于，所述敏感元件的形状为方形、圆形或圆环形。
4.根据权利要求1-3中任一所述的高温加速度传感器，其特征在于，所述敏感元件单独使用或多个敏感元件并联使用。
5.根据权利要求1-4中任一所述的高温加速度传感器，其特征在于，所述高温加速度传感器使用敏感元件的正压缩模式或剪切模式。
6.根据权利要求1-5中任一所述的高温加速度传感器，其特征在于，所述高温加速度传感器工作温度为-55-649℃，工作频率为10-2500HZ，能够在1-10g加速度下工作。
7.根据权利要求1-6中任一所述的高温加速度传感器，其特征在于，所述高温加速度传感器的误差≦10%。
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