[发明专利]具有共构微机电感测单元的微机电系统元件在审
| 申请号： | 201410372664.0 | 申请日： | 2014-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN105319393A | 公开（公告）日： | 2016-02-10 |
| 发明（设计）人： | 许郁文;吴嘉昱;林士杰;林式庭 | 申请（专利权）人： | 立锜科技股份有限公司 |
| 主分类号： | G01P15/02 | 分类号： | G01P15/02;G01P15/18 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 陈肖梅;谢丽娜 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 中国台湾;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 微机 电感 单元 系统 元件 | ||
1.一种具有共构微机电感测单元的微机电系统元件，其特征在于，包含：
不同感测型态的第一和第二微机电感测单元，其中该第一微机电感测单元的部分结构和第二微机电感测单元的部分结构重叠设置在同一投影面积内。
2.如权利要求1所述的具有共构微机电感测单元的微机电系统元件，其中，还包含一共振器，至少与该第一微机电感测单元及该第二微机电感测单元其中之一连接，以至少赋予所连接的该第一微机电感测单元或该第二微机电感测单元振动频率。
3.如权利要求1所述的具有共构微机电感测单元的微机电系统元件，其中，该共振器赋予该第一微机电感测单元和该第二微机电感测单元不同的振动频率，且该具有共构微机电感测单元的微机电系统元件还包含有至少一共同接点，以接收该第一微机电感测单元和该第二微机电感测单元的感测结果而产生一多频段讯号，经由该共同接点输出。
4.如权利要求1所述的具有共构微机电感测单元的微机电系统元件，其中，该第一微机电感测单元和该第二微机电感测单元分别为线性加速度计和科式加速度计。
5.如权利要求1所述的具有共构微机电感测单元的微机电系统元件，其中，该第二微机电感测单元为科氏加速度计，包括至少一个科式加速度可动电极，该科式加速度可动电极的外周定义该投影面积，且该第一微机电感测单元包括至少一个电极结构，此电极结构完全落在该投影面积内。
6.如权利要求1所述的具有共构微机电感测单元的微机电系统元件，其中，该第二微机电感测单元为科氏加速度计，包括至少一个科式加速度可动电极，该科式加速度可动电极的外周定义该投影面积，且该第一微机电感测单元包括至少一个电极结构，此电极结构包括一主要质量部分，该主要质量部分落在该投影面积内。
7.如权利要求6所述的具有共构微机电感测单元的微机电系统元件，其中，该第一微机电感测单元为线性加速度计，且该电极结构为线性加速度计其中一轴的可动电极。
8.如权利要求7所述的具有共构微机电感测单元的微机电系统元件，其中，该第一微机电感测单元为二轴或三轴线性加速度计。
9.如权利要求1所述的具有共构微机电感测单元的微机电系统元件，其中，包含多个不同感测型态的微机电感测单元，该多个不同感测型态的微机电感测单元包含线性加速度计、角速度计和磁力计中的几个。
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