[发明专利]一种具有改进型N阱电容的单栅非易失存储单元有效

专利信息
申请号: 201410346929.X 申请日: 2014-07-21
公开(公告)号: CN104123961A 公开(公告)日: 2014-10-29
发明(设计)人: 李聪;李建成;尚靖;李文晓;王震;王宏义;谷晓忱;郑黎明;李浩 申请(专利权)人: 中国人民解放军国防科学技术大学;湖南晟芯源微电子科技有限公司
主分类号: G11C16/02 分类号: G11C16/02;H01L27/115
代理公司: 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 代理人: 胡伟华
地址: 410073 湖*** 国省代码: 湖南;43
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摘要:
搜索关键词: 一种 具有 改进型 电容 单栅非易失 存储 单元
【权利要求书】:

1.一种具有改进型N阱电容的单栅非易失存储单元,其特征在于:包括控制管、隧穿管、读取管以及选择管,控制管和隧穿管均采用改进型N阱电容实现,读取管采用NMOS晶体管或本征管实现,选择管采用NMOS晶体管实现,控制管、隧穿管和读取管三管的栅极并接,作为存储电荷的浮栅,该浮栅与外界通过绝缘层隔离,所述的控制管驻留在第一个N阱中,隧穿管驻留在第二个N阱中,读取管驻留在P衬底或第一个P阱中,选择管驻留在第一个P阱中,所述改进型N阱电容是在栅极两侧的N阱中分别掺杂N+类型和P+类型的杂质,形成N+区域和P+区域,同时栅极多晶为N+类型的杂质注入。

2.根据权利要求1所述的一种具有改进型N阱电容的单栅非易失存储单元,其特征在于:所述的控制管、隧穿管、读取管和选择管均为单栅结构。

3.根据权利要求1所述的一种具有改进型N阱电容的单栅非易失存储单元,其特征在于:所述的控制管、隧穿管、读取管和选择管具有相同的栅极氧化层厚度。

4.根据权利要求1所述的一种具有改进型N阱电容的单栅非易失存储单元,其特征在于:控制管N阱电容的N+区域和P+区域连接在一起,构成控制端子;隧穿管N阱电容的N+区域和P+区域连接在一起,构成隧穿端子;读取管的漏极构成读取端子;读取管的源极与选择管的漏极连接,选择管的源极输出数据;选择管的栅极构成选择端子。

5.根据权利要求4所述的一种具有改进型N阱电容的单栅非易失存储单元,其特征在于:所述的隧穿管、读取管的栅极区面积均小于控制管的栅极区面积。

6.根据权利要求5所述的一种具有改进型N阱电容的单栅非易失存储单元,其特征在于:所述控制端子、隧穿端子和读取端子,这三端容性耦合的电势,叠加后形成浮栅上的电势。

7.根据权利要求6所述的一种具有改进型N阱电容的单栅非易失存储单元,其特征在于:所述控制端子、隧穿端子、读取端子与选择端子在编程操作、擦除操作、读取操作时分别施加不同的电压组合。

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