[发明专利]金属膜光学检测装置和检测方法

权利要求书

1.一种金属膜光学检测装置，包括承载器，在所述承载器的第一位置设置有斜朝向金属膜和基板发射入射光束的光源，在所述承载器的第二位置设置有接受来自所述金属膜或基板的反射光束的光敏感应器，处理来自所述光敏感应器的光信号的分析单元，

其中，所述分析单元根据所述入射光束与承载器之间的夹角、对应于金属膜的第一反射光斑与光源之间的第一长度、对应于基板的第二反射光斑与光源之间的第二长度而得到所述金属膜的厚度。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述夹角包括第一夹角和第二夹角，

所述光源以第一夹角向所述金属膜发出入射光束，所述光敏感应器接受反射光束，所述分析单元计算出第一长度，并根据第一长度和第一夹角得到所述金属膜与所述承载器之间的第一距离；

所述光源以第二夹角向所述基板发出入射光束，所述光敏感应器接受反射光束，所述分析单元计算出第二长度，并根据第二长度和第二夹角得到基板与所述承载器之间的第二距离；

所述金属膜的厚度为第二距离与第一距离之间的差值。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述分析单元包括亮度检测模块，所述亮度检测模块根据所述第一反射光斑内的暗点的数量得到所述金属膜的表面内的凸起的数量。

4.根据权利要求2或3所述的装置，其特征在于，所述承载器能沿平行于所述金属膜的方向移动。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述第一夹角与所述第二夹角相等。

6.根据权利要求2或3所述的装置，其特征在于，所述光敏感应器为由多个光敏感应点组成的面区域。

7.根据权利要求1到3中任一项所述的装置，其特征在于，所述光源为激光源。

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述入射光束的横截面积在25μm²到2500μm²之间。

9.一种使用根据权利要求1到8中任一项所述的金属膜光学检测装置检测金属膜的方法，所述方法包括，

步骤一：将所述承载器平行地设置在所述金属膜的上方，并且使光源和光敏感应器朝向所述金属膜；

步骤二：所述光源以所述夹角向所述金属膜发出入射光束，所述光敏感应器接受反射光束，所述分析单元计算出第一长度，并根据第一长度和夹角得到所述金属膜与所述承载器之间的第一距离；

步骤三：所述光源以所述夹角向所述基板发出入射光束，所述光敏感应器接受反射光束，所述分析单元计算出第二长度，并根据第二长度和夹角得到所述基板与所述承载器之间的第二距离；

步骤四：计算所述第二距离和第一距离之间的差值，所述差值为所述金属膜的厚度。

10.根据权利要求9所述的方法，其特征在于，在所述步骤三中，移动所述承载器，以使得所述光源以所述夹角向所述基板发出入射光束。

11.根据权利要求9或10所述的方法，其特征在于，所述夹角包括第一夹角和第二夹角，所述第一夹角与第二夹角不相等，

在所述步骤二中，所述夹角为第一夹角；

在所述步骤三中，所述夹角为第二夹角。

12.根据权利要求9或10所述的方法，其特征在于，所述分析单元包括亮度检测模块，所述亮度检测模块根据所述第一反射光斑内的暗点的数量得到所述金属膜的表面内的凸起的数量。