[发明专利]薄膜太阳能电池模组及其制备方法

权利要求书

1.一种薄膜太阳能电池模组，其特征在于，包括依次层叠的基板、背电极层、光吸收层、缓冲层、高阻层及透明导电层，所述背电极层被多个第一条形槽分割，多个所述第一条形槽间相平行并且被所述光吸收层、缓冲层、高阻层及透明导电层填充，所述薄膜太阳能电池模组上每一个所述第一条形槽旁边还平行开设有一个第二条形槽，所述光吸收层、缓冲层、高阻层及透明导电层被所述第二条形槽分割，从而使所述第二条形槽底部的所述背电极层裸露；所述第一条形槽和第二条形槽将所述薄膜太阳能电池模组分隔成多个太阳能单元电池；设所述第一条形槽和第二条形槽延伸的方向为所述太阳能单元电池的长度方向，其垂直方向为所述太阳能单元电池的宽度方向；

所述薄膜太阳能电池模组还包括位于所述透明导电层之上、用于收集光生载流子的多个金属栅极，所述金属栅极通过所述第二条形槽的侧壁实现所述透明导电层与相邻所述太阳能单元电池的背电极层电连接。

2.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池模组，其特征在于，所述金属栅极包括总条及多个相互间隔的支条；所述总条在所述太阳能单元电池的长度方向上延伸；所述支条在所述太阳能单元电池的宽度方向上延伸，所述支条的一端连接于所述总条上。

3.根据权利要求2所述的薄膜太阳能电池模组，其特征在于，所述金属栅极的总条在所述太阳能单元电池的宽度方向上的长度小于等于所述第一条形槽在所述太阳能单元电池的宽度方向上的长度。

4.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池模组，其特征在于，所述透明导电层的厚度为200nm。

5.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池模组，其特征在于，所述太阳能单元电池的宽度为10mm～16mm。

6.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池模组，其特征在于，所述第一条形槽的宽度为60μm，所述第二条形槽的宽度为50μm。

7.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池模组，其特征在于，所述金属栅极的材质为铝、金、银或铜。

8.根据权利要求1所述的薄膜太阳能电池模组，其特征在于，所述支条的宽度为10μm，相邻所述支条之间的间距为0.8mm。

9.一种薄膜太阳能电池模组制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

在基板上通过磁控溅射法制备背电极层，并采用激光划线法或机械划线法在所述背电极层上间隔形成多个切断所述背电极层的第一条形槽；

在所述背电极层及所述第一条形槽上制备光吸收层；

通过水浴法或溅射法在所述光吸收层上制备缓冲层；

通过磁控溅射法在所述缓冲层上制备高阻层；

在所述高阻层上制备透明导电层；

在每一个所述第一条形槽旁边通过激光划线或者机械划线法，切割所述光吸收层、缓冲层、高阻层及透明导电层，并使得部分背电极层裸露出来，以形成第二条形槽，所述薄膜太阳能电池模组被所述第一条形槽和第二条形槽分隔成多个太阳能单元电池；

通过甩胶工艺，将光刻胶覆盖于所述透明导电层及所述第二条形槽上，形成光刻胶层；

使用栅极模板通过显影及定影工艺去除部分光刻胶，在所述光刻胶层上形成栅极槽；

在有所述栅极槽的所述光刻胶层上蒸镀金属导电层，并清洗所述光刻胶层，以在所述透明导电层上形成金属栅极；所述金属栅极通过所述第二条形槽的侧壁实现所述透明导电层与相邻所述太阳能单元电池的背电极层电连接。

10.一种薄膜太阳能电池模组制备方法，其特征在于，所述支条的宽度为10μm，相邻所述支条之间的间距为0.8mm。