[发明专利]光刻胶瓶固持装置

说明书

本发明提供了一种光刻胶瓶固持装置，包括：底座；大瓶保持架，与所述底座固定连接，该大瓶保持架具有用于支撑大瓶的第一支撑面，该第一支撑面的形状与该大瓶的侧壁形状适应；小瓶保持架，与所述大瓶保持架的第一支撑面可拆卸地连接，该小瓶保持架具有用于支撑小瓶的第二支撑面以及用于与该第一支撑面接触的第三支撑面，该第二支撑面的形状与该小瓶的侧壁形状适应，该第三支撑面的形状与该第一支撑面的形状适应，该小瓶的尺寸小于大瓶的尺寸。本发明能够适用于不同尺寸的光刻胶瓶。

技术领域

本发明涉及一种光刻胶瓶固持装置，尤其涉及一种便于切换大、小光刻胶瓶的光刻胶瓶固持装置。

背景技术

光刻胶是半导体工艺中一种常用的液体制剂，通常存储于光刻胶瓶中。在使用时，光刻胶瓶被固定在光刻胶瓶固持装置上，由光刻胶瓶固定装置夹持的吸管伸入光刻胶瓶中，以从光刻胶瓶中抽取光刻胶。

但是，常用的光刻胶瓶通常具有多种不同的尺寸，而现有技术中的光刻胶瓶固持装置的结构是固定的，其通常仅能与某一种特定尺寸的光刻胶瓶最优地配合使用。当更换不同尺寸的光刻胶瓶时，现有技术中的光刻胶瓶固持装置并不能起到较优的支撑、固定作用，可能会导致各种问题，例如光刻胶瓶得不到牢固的支撑，吸管无法插入瓶口等。

发明内容

本发明要解决的技术问题是提供一种光刻胶瓶固持装置，能够适用于不同尺寸的光刻胶瓶。

为解决上述技术问题，本发明提供了一种光刻胶瓶固持装置，包括：

底座；

大瓶保持架，与所述底座固定连接，该大瓶保持架具有用于支撑大瓶的第一支撑面，该第一支撑面的形状与该大瓶的侧壁形状适应；

小瓶保持架，与所述大瓶保持架的第一支撑面可拆卸地连接，该小瓶保持架具有用于支撑小瓶的第二支撑面以及用于与该第一支撑面接触的第三支撑面，该第二支撑面的形状与该小瓶的侧壁形状适应，该第三支撑面的形状与该第一支撑面的形状适应，该小瓶的尺寸小于大瓶的尺寸。

根据本发明的一个实施例，该装置还包括：

吸管固定架，该吸管固定架的位置相对于所述底座固定；

吸管夹持臂，用于夹持吸管，该吸管夹持臂与所述吸管固定架滑动连接以调节该吸管的竖直高度。

根据本发明的一个实施例，该装置还包括：

微调标尺，固定在所述吸管固定架上；

与所述微调标尺配合使用的刻度指针，固定在所述吸管夹持臂上。

根据本发明的一个实施例，所述吸管夹持臂夹持有瓶盖，所述吸管插入该瓶盖内。

根据本发明的一个实施例，该装置还包括：支撑板，与所述底座固定连接以支撑该大瓶或小瓶的底部，该支撑板与水平面之间具有预设的倾角。

根据本发明的一个实施例，所述第一支撑面与第二支撑面为圆柱面且二者同轴。

与现有技术相比，本发明具有以下优点：

本发明实施例的光刻胶瓶固持装置具有可拆卸的小瓶保持架，在安装小瓶保持架时，小瓶保持架的第二支撑面与小瓶的侧壁形状相适应，在拆掉小瓶保持架时，大瓶保持架的第一支撑面与大瓶的侧壁形状相适应，从而能够适用于具有不同尺寸的大瓶和小瓶。

进一步而言，本发明实施例的光刻胶瓶固持装置还具有可滑动的吸管夹持臂，该吸管夹持臂可以相对于吸管固定架滑动，以调节吸管的垂直高度，从而能够使得吸管顺利插入不同尺寸的光刻胶瓶内，以适用于多种不同尺寸的光刻胶瓶。

附图说明

图1是本发明实施例的光刻胶瓶固持装置在固持大瓶时的立体结构图；