[发明专利]一种镍铂合金溅射靶材及其制备方法有效
| 申请号： | 201410231799.5 | 申请日： | 2014-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN104018128A | 公开（公告）日： | 2014-09-03 |
| 发明（设计）人： | 王传军;唐志龙;张俊敏;闻明;毕珺;沈月;宋修庆;管伟明 | 申请（专利权）人： | 贵研铂业股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14;C22C19/03;C22F1/10 |
| 代理公司： | 昆明今威专利商标代理有限公司 53115 | 代理人： | 赛晓刚 |
| 地址： | 650106 云南省昆明市高新*** | 国省代码： | 云南;53 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 合金 溅射 及其 制备 方法 | ||
1.一种镍铂合金溅射靶，其特征在于：所述镍铂溅射靶中，铂的含量为0～5原子百分比，靶材的平均晶粒尺寸小于80微米，且单个晶粒尺寸不大于150微米。
2.根据权利要求1所述的镍铂合金溅射靶，其特征在于：所述镍铂溅射靶中平均晶粒尺寸小于50微米，且单个晶粒尺寸不大于100微米。
3.根据权利要求1所述的镍铂合金溅射靶，其特征在于：在X射线衍射分析中，用式(Ⅰ)表示的(111)晶面的X射线衍射峰强度比为小于50％，
..............................式(Ⅰ)。
4.根据权利要求1所述的镍铂合金溅射靶，其特征在于：在X射线衍射分析中，用式(Ⅱ)表示的(200)晶面的X射线衍射峰强度比大于20％，
..............................式(Ⅱ)。
5.根据权利要求1所述的镍铂合金溅射靶，其特征在于：所述靶材的透磁率(PTF)大于40％且在各个不同方向上测量的数值差别在5％以内。
6.根据权利要求1所述的镍铂合金溅射靶，其特征在于：所述靶材的透磁率(PTF)大于50％且在各个不同方向上测量的数值差别在5％以内。
7.根据权利要求1所述的镍铂合金溅射靶，其特征在于：所述靶材的透磁率(PTF)大于60％且在各个不同方向上测量的数值差别在5％以内。
8.一种如权利要求1所述的镍铂合金溅射靶的制备方法，包括以下步骤：
(a)熔炼：将镍或镍合金原料熔炼成铸锭；
(b)热轧：热轧镍或镍合金铸锭成料坯；
(c)冷轧和热处理：对热轧后的料坯进行冷轧和热处理交替加工；
其特征在于：其中热轧时需进行横纵向的交替轧制，热轧温度为 950℃～1250℃，热轧变形量在30％以上；所述的冷轧为横轧与纵轧按90度角顺时针交替轧制，冷轧次数为两次，冷轧之间进行一次热处理，冷轧的总的变形量在20％～30％以内；所述的热处理温度为600℃～800℃，时间为1～4个小时。
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