[发明专利]一种氢氟酸清洗机的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种硅片加工使用的清洗机的制造方法。

背景技术

在太阳能光伏产业中，对硅片的生产要求越来越严格，表面处理技术也相应的做出了新的改进，原来对硅片表面清洗处理使用的是乳酸溶液，但是乳酸溶液清洗已经不能满足现有的要求，大多采用氢氟酸溶液清洗。但是目前的清洗机中乳酸槽采用金属制造，耐腐蚀性能较差，不能满足氢氟酸的腐蚀要求。

发明内容

发明目的：针对上述问题，本发明的目的是提供一种氢氟酸清洗机的制造方法，符合一定的耐腐蚀要求，并且不影响清洗超声波强度使用要求。

技术方案：一种氢氟酸清洗机的制造方法，包括以下步骤：

（1）选择适合氢氟酸耐腐蚀要求的板材，且要求不影响超声波的效果；

（2）按照尺寸要求制作清洗槽；

（3）将清洗槽在清洗机上安装到位，调试清洗超声波强度，达到使用标准；

（4）加入氢氟酸溶剂，确认耐腐蚀效果。

步骤（1）所述板材为PVC板材。

最佳的，所述PVC板材表面涂覆耐腐蚀涂层。

有益效果：与现有技术相比，本发明的优点是能够较好的适应氢氟酸溶剂的腐蚀要求，并且达到超声波的强度测试要求，可以减少因金属结构清洗槽不能满足氢氟酸溶剂使用工艺要求而造成的不必要的损失，满足清洗新工艺要求，并且更好的延长清洗机使用寿命。

具体实施方式

下面结合具体实施例，进一步阐明本发明，应理解这些实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围，在阅读了本发明之后，本领域技术人员对本发明的各种等价形式的修改均落于本申请所附权利要求所限定的范围。

一种氢氟酸清洗机的制造方法，包括以下步骤：

（1）选择适合氢氟酸耐腐蚀要求的板材，且要求不影响超声波的效果；

（2）按照尺寸要求制作清洗槽；

（3）将清洗槽在清洗机上安装到位，调试清洗超声波强度，达到使用标准；

（4）加入氢氟酸溶剂，确认耐腐蚀效果。

步骤（1）所述板材为PVC板材。

最佳的，所述PVC板材表面涂覆耐腐蚀涂层。