[发明专利]封框胶固化装置及其掩膜板

权利要求书

1.一种掩膜板，包括透光区和遮光区，其特征在于，所述透光区设置有至少一个通孔，所述通孔的半径为40～20mm；

所述透光区包括第一透光区和第二透光区，其中，第一透光区相对于第二透光区更靠近所述掩膜板的中心；

所述第一透光区的通孔孔径，大于所述第二透光区的通孔孔径。

2.根据权利要求1所述的掩膜板，其特征在于，所述透光区包括至少一个条状透光区，所述至少一个条状透光区以穿过所述掩膜板中心的直线对称分布。

3.根据权利要求1或2所述的掩膜板，其特征在于，所述透光区的通孔均匀分布。

4.一种封框胶固化装置，包括掩膜板和用于固定所述掩膜板的真空吸附装置，其特征在于，所述掩膜板采用权利要求1-3任一项所述的掩膜板。

5.根据权利要求4所述的封框胶固化装置，其特征在于，所述真空吸附装置为多根透明棒，所述透明棒具有形成真空吸附的沟槽。

6.根据权利要求5所述的封框胶固化装置，其特征在于，所述掩膜板上的通孔与所述透明棒错开分布。