[发明专利]MEMS陀螺仪测控电路

权利要求书

1.MEMS 陀螺仪测控电路，为基于 IP 核的 SOPC 数字处理电路，其特征在于，所述 IP 核接收MEMS 陀螺仪驱动轴检测信号，并输出相应的驱动信号；且所述 IP 核接收 MEMS 陀螺仪敏感轴检测信号，并输出 MEMS 陀螺仪的角速率；所述驱动轴检测信号作为载波信号经 LMSD解调电路解调后，其正交分量经 Butterworth 4 阶低通滤波器进行滤波处理，进行幅度设定后通过 PI 控制器进行幅度闭环；其同相分量经 Butterworth 4 阶低通滤波器进行滤波处理，进行相位设定后通过 PI 控制器进行相位闭环 ；闭环后的两分量进行正弦波合成，输出驱动信号；所述敏感轴检测信号作为载波信号经 LMSD 解调电路解调后，其同相分量经Butterworth 4 阶低通滤波器进行滤波处理，进行温度补偿后输出MEMS 陀螺仪的角速率；所述温度补偿是通过所述驱动轴检测信号作为载波信号经 LMSD 解调电路解调后，其同相分量经 Butterworth 4 阶低通滤波器进行滤波处理，进行相位设定后通过 PI 控制器进行相位闭环并通过 PI 控制器向滤波处理后的载波信号进行温度补偿。

2.根据权利要求 1 所述的 MEMS 陀螺仪测控电路，其特征在于所述测控电路还包括对MEMS陀螺仪的变化电容噪声信号进行检测的变化电容检测电路，所述变化电容检测电路包括级联设置的前级电荷放大器电路、高通滤波器电路、同步解调电路和低通滤波器电路。

3.根据权利要求 1 所述的 MEMS 陀螺仪测控电路，其特征在于所述测控电路还包括利用分离出的失调电容信号来控制可变增益放大器的增益的失调电容信号补偿电路，其中可变增益放大器的输出负反馈到电荷放大器的输入端，将失调电容所引起的输出电压信号从电荷放大器的输出中消除。