[发明专利]像素分隔墙的制作方法、阵列基板、以及AMECD

权利要求书

1.一种像素分隔墙的制作方法，其特征在于，包括：

在衬底基板上依次沉积导电膜层和固体介质层；其中，所述衬底基板包括薄膜晶体管TFT和全面覆盖所述TFT的平坦化层，所述平坦化层包含露出所述TFT的漏极的过孔；

采用同一掩膜版，先对所述固体介质层进行刻蚀处理以形成固体部件，再对所述导电膜层进行刻蚀处理以形成与所述固体部件完全重合、且通过所述过孔与所述漏极电连接的像素电极；

在形成有所述固体部件的基板表面上旋涂一层混合液，其中，所述混合液包括电润湿溶剂和聚合物单体；

在设定时长内，通过分别与所述TFT的栅极和源极电连接的栅线和数据线，在与所述TFT的漏极电连接的所述像素电极上施加第一直流电压信号，并在所述混合液中施加第二直流电压信号，且所述第一直流电压信号的电压值大于第二直流电压信号的电压值；

加热蒸发掉所述混合液中的电润湿溶剂，并对剩余的所述聚合物单体进行固化处理，形成所述像素分隔墙；

其中，所述固体介质层满足如下特性：在初始状态下，其上表面具有亲水性；而在所述像素电极上施加所述第一直流电压信号，并在所述混合液中施加所述第二直流电压信号时，其上表面由具有亲水性转变为具有疏水性。

2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述在混合液中施加第二直流电压信号，具体包括：

将一端接地的电极引线通入所述混合液中。

3.如权利要求2所述的方法，其特征在于，还包括：在设定时长到达后，拆除所述电极引线。

4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述聚合物单体包括丙烯酸酯或者环氧树脂；

当所述聚合物单体为丙烯酸酯时，对所述聚合物单体进行固化处理，具体包括：

在温度为150℃～230℃的条件下，对所述聚合物单体进行不小于1小时的热固化；

当所述聚合物单体为环氧树脂时，对所述聚合物单体进行固化处理，具体包括：

在功率不小于1焦耳每秒的条件下，对所述聚合物单体进行1秒～10秒的紫外固化。

5.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述设定时长大于0且不大于1分钟。

6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述第一直流电压信号的电压值大于0伏特且不大于50伏特。

7.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述电润湿溶剂包括极性溶剂和非极性溶剂；

所述极性溶剂包括水、氯化钠水溶液和氯化钾中的一种；

所述非极性溶剂包括硅油、癸烷、十二烷和十四烷中的一种。

8.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述固体介质层的材料包括氮化硅、二氧化硅和氧化铝中的一种。

9.一种阵列基板，其特征在于，包括：像素电极，位于所述像素电极上方、且与所述像素电极完全重合的固体部件，以及位于所述固体部件和像素电极周围区域的像素分隔墙，其中：

所述像素分隔墙采用如权利要求1～8任一所述的方法制作。

10.一种有源矩阵式电致变色显示器，其特征在于，包括如权利要求9所述的阵列基板。