[发明专利]制备多晶硅的方法有效
| 申请号： | 201410125904.7 | 申请日： | 2014-03-31 |
| 公开（公告）号： | CN103950933A | 公开（公告）日： | 2014-07-30 |
| 发明（设计）人： | 姜利霞;严大洲;杨永亮;肖荣晖;汤传斌 | 申请（专利权）人： | 中国恩菲工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/03 | 分类号： | C01B33/03 |
| 代理公司： | 北京清亦华知识产权代理事务所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 李志东 |
| 地址： | 100038*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 制备 多晶 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种制备多晶硅的方法，其特征在于，包括：
通过精馏塔的进料口将氯硅烷输送至精馏塔内，以便对氯硅烷进行蒸馏提纯，得到含有二氯二氢硅和三氯氢硅混合液和四氯化硅溶液；
使所述混合液从所述精馏塔的塔顶采出口排出并输送至蒸发器，以便将所述混合液进行蒸发，得到含有三氯氢硅、二氯二氢硅和氢气的原料气；以及
使所述原料气从所述蒸发器的原料气出口排出并输送至还原炉内，以便利用所述原料气制备得到多晶硅。
2.根据权利要求1所述的制备多晶硅的方法，其特征在于，进一步包括：利用换热器预先对输送至所述精馏塔内的氯硅烷进行预热处理，其中，所述预热处理是利用从所述精馏塔的塔底采出口排出的四氯化硅溶液作为热源进行的。
3.根据权利要求2所述的制备多晶硅的方法，其特征在于，进一步包括：利用冷却器对进行所述预热处理后的四氯化硅溶液进行冷却处理。
4.根据权利要求1所述的制备多晶硅的方法，其特征在于，所述氯硅烷为选自多晶硅系统中热氢化工序的热氢化料和干法回收工序的干法回收料的至少之一。
5.根据权利要求1所述的制备多晶硅的方法，其特征在于，所述精馏提纯的回流比为1～5。
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